[發明專利]彈性波裝置

有效

• 申請號: 201910247816.7
• 申請日: 2019-03-28
• 公開（公告）號: CN110324021B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 山根毅;高井努;竹下徹
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李國華

1.一種彈性波裝置，具備：

支承基板；

層疊膜，其設置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有包含壓電薄膜的多個膜；

IDT電極，其設置于所述壓電薄膜的一個面；

第一絕緣層，在俯視下，在設置有所述IDT電極的區域的外側的區域，局部地不存在所述層疊膜，該第一絕緣層設置為從不存在所述層疊膜的區域的至少一部分到達所述壓電薄膜上；

布線電極，其與所述IDT電極電連接，該布線電極從所述壓電薄膜上的一個區域到達所述第一絕緣層上，且到達位于不存在所述層疊膜的區域的所述第一絕緣層部分上；以及

支承層，其設置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有用于構成中空空間的開口部，

所述支承層在所述布線電極上具有從不存在所述層疊膜的區域到達位于所述壓電薄膜上的所述第一絕緣層的內側端的上方的部分。

2.根據權利要求1所述的彈性波裝置，其中，

所述支承層在所述布線電極上具有從不存在所述層疊膜的區域到達比位于所述壓電薄膜上的所述第一絕緣層的內側端靠內側的位置的部分。

3.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述第一絕緣層從不存在所述層疊膜的區域的至少一部分起，通過所述層疊膜的側面而到達所述壓電薄膜上。

4.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述第一絕緣層的與所述支承基板側相反的一側的面具有第一傾斜面，該第一傾斜面傾斜為從不存在所述層疊膜的區域隨著接近位于所述壓電薄膜上的部分而遠離所述支承基板側。

5.根據權利要求4所述的彈性波裝置，其中，

所述第一絕緣層的所述第一傾斜面從所述支承基板上到達所述壓電薄膜上的所述第一絕緣層的一個區域。

6.根據權利要求4所述的彈性波裝置，其中，

所述第一絕緣層從所述第一傾斜面到達不存在所述層疊膜的區域的至少一部分。

7.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述第一絕緣層的厚度在不存在所述層疊膜的區域比在所述壓電薄膜上厚。

8.根據權利要求7所述的彈性波裝置，其中，

所述第一絕緣層的與所述支承基板側相反的一側的面具有第二傾斜面，該第二傾斜面傾斜為從不存在所述層疊膜的區域隨著接近位于所述壓電薄膜上的部分而接近所述支承基板側。

9.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述彈性波裝置還具備設置在所述布線電極與所述支承基板之間的第二絕緣層，所述第二絕緣層到達所述第一絕緣層上。

10.根據權利要求9所述的彈性波裝置，其中，

在將與所述布線電極延伸的方向正交的方向設為寬度方向的情況下，所述布線電極的所述寬度方向上的一端及另一端與所述第二絕緣層的所述寬度方向上的一端及另一端相比在所述寬度方向上分別位于內側。

11.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述層疊膜具有所述壓電薄膜以及低聲速膜，該低聲速膜傳播的體波的聲速與在所述壓電薄膜傳播的彈性波的聲速相比為低速，在所述低聲速膜上層疊有所述壓電薄膜。

12.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述層疊膜具有：

所述壓電薄膜；

高聲速膜，在該高聲速膜傳播的體波的聲速與在所述壓電薄膜傳播的彈性波的聲速相比為高速；以及

低聲速膜，該低聲速膜層疊在所述高聲速膜上，在該低聲速膜傳播的體波的聲速與在所述壓電薄膜傳播的彈性波的聲速相比為低速，

在所述低聲速膜上層疊有所述壓電薄膜。

13.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置，其中，

所述層疊膜具有所述壓電薄膜、聲學阻抗相對高的高聲學阻抗膜以及聲學阻抗比所述高聲學阻抗膜低的低聲學阻抗膜。