[發明專利]氮化鎵射頻器件、參數確定方法和射頻器件制作方法

在審

• 申請號: 201910245680.6
• 申請日: 2019-03-28
• 公開（公告）號: CN109950307A
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 盧益鋒;林科闖;鄒鵬輝;許若華;劉勝厚;蔡仙清;楊健
• 申請（專利權）人: 廈門市三安集成電路有限公司
• 主分類號: H01L29/66
• 分類號: H01L29/66
• 代理公司: 北京超成律師事務所 11646
• 代理人: 劉靜

本申請提供的氮化鎵射頻器件、參數確定方法和射頻器件制作方法，涉及微電子技術領域。其中，氮化鎵射頻器件包括殼體結構、氮化鎵晶體管和阻抗匹配電路。阻抗匹配電路包括導線和至少兩個電容，且該阻抗匹配電路的阻抗滿足以下預設條件：阻抗匹配電路的基波阻抗的實部與氮化鎵晶體管的基波阻抗的實部都為正數，且兩個實部之差小于第一預設值，阻抗匹配電路的基波阻抗的虛部與氮化鎵晶體管的基波阻抗的虛部中的一個為正數、另一個為負數，且兩個虛部之和小于第二預設值，阻抗匹配電路的二次諧波阻抗小于第三預設值。通過上述設置，可以改善現有技術中氮化鎵射頻器件的有效輸出功率較低的問題。

技術領域

本申請涉及微電子技術領域，具體而言，涉及一種氮化鎵射頻器件、參數確定方法和射頻器件制作方法。

背景技術

在通信系統中，射頻器件發揮著重要的作用。因此，射頻器件的性能會直接影響著整個通信系統的性能。例如，射頻器件的諧波分量一方面會導致該器件的輸出功率降低，另一方面會對其它的通信系統造成干擾。其中，氮化鎵射頻器件因具有較高的截止頻率，因而具有復雜的諧波分量。

因此，如何有效地降低氮化鎵射頻器件的諧波分量以提高器件的有效輸出功率，是亟待解決的技術問題。

發明內容

有鑒于此，本申請的目的在于提供一種氮化鎵射頻器件、參數確定方法和射頻器件制作方法，以改善現有技術中氮化鎵射頻器件的有效輸出功率較低的問題。

為實現上述目的，本申請實施例采用如下技術方案：

一種氮化鎵射頻器件，包括：

殼體結構；

封裝于所述殼體結構的氮化鎵晶體管；

封裝于所述殼體結構的阻抗匹配電路，該阻抗匹配電路包括導線和至少兩個電容，各電容的其中一端通過導線依次連接、另一端分別接地，且各電容依次連接后位于首端的電容通過導線與設置于所述殼體結構的輸入引腳連接、位于末端的電容通過導線與所述氮化鎵晶體管的柵極連接；

其中，所述阻抗匹配電路的阻抗滿足以下預設條件：所述阻抗匹配電路的基波阻抗的實部與所述氮化鎵晶體管的基波阻抗的實部都為正數，且兩個實部之差小于第一預設值，所述阻抗匹配電路的基波阻抗的虛部與所述氮化鎵晶體管的基波阻抗的虛部中的一個為正數、另一個為負數，且兩個虛部之和小于第二預設值，所述阻抗匹配電路的二次諧波阻抗小于第三預設值。

在本申請實施例較佳的選擇中，在上述氮化鎵射頻器件中，所述導線的電感值基于所述阻抗匹配電路的阻抗確定，且該導線的拱高參數和距離參數基于該導線確定的電感值確定。

在本申請實施例較佳的選擇中，在上述氮化鎵射頻器件中，所述導線為鍵合金絲。

在本申請實施例較佳的選擇中，在上述氮化鎵射頻器件中，每個所述電容的電容值基于阻抗匹配電路的阻抗確定，且每個所述電容的介電常數和極板面積基于該電容確定的電容值確定。

在本申請實施例較佳的選擇中，在上述氮化鎵射頻器件中，每個所述電容為單層金屬電容。

在本申請實施例較佳的選擇中，在上述氮化鎵射頻器件中，所述電容為兩個，該兩個電容的其中一端通過第一導線連接，其中一個電容通過第二導線與所述輸入引腳連接、另一個電容通過第三導線與所述氮化鎵晶體管的柵極連接。

本申請實施例還提供了一種參數確定方法，用于確定待制作的氮化鎵射頻器件中阻抗匹配電路的阻抗值，該氮化鎵射頻器件還包括待封裝的氮化鎵晶體管和用于封裝的殼體結構，所述參數確定方法包括：

獲取所述氮化鎵晶體管的阻抗值；

基于預設條件和所述氮化鎵晶體管的阻抗值得到所述阻抗匹配電路的阻抗值；