[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置及其工作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910244001.3 | 申請日: | 2019-03-28 |
| 公開(公告)號: | CN109979831B | 公開(公告)日: | 2020-07-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王全;沈春福;周體志;徐玉豹;薛戰(zhàn);吳海兵;鄭文彬 | 申請(專利權(quán))人: | 合肥富芯元半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡劍輝 |
| 地址: | 230000 安徽省合*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 半導(dǎo)體 封裝 設(shè)備 自動 裝置 及其 工作 方法 | ||
1.一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置,包括支架(1)以及位于其頂部的傳送鏈(4),所述支架(1)底部固定安裝有四個支撐腿(2),且所述支架(1)側(cè)壁上連接有一排上料軌道(3),其特征在于,所述傳送鏈(4)上固定安裝有若干個等間距分布的工位(11),且所述傳送鏈(4)一側(cè)上方設(shè)置有進料軌道(10),所述進料軌道(10)位于進料架(9)上,所述傳送鏈(4)一端套接有從動齒輪(12),所述從動齒輪(12)中部穿接有一根轉(zhuǎn)軸(13),所述轉(zhuǎn)軸(13)底端連接在軸承座(14)上,所述傳送鏈(4)另一端套接有主動齒輪(18),所述主動齒輪(18)中部連接驅(qū)動軸(17),所述驅(qū)動軸(17)一端接入換向齒輪箱(15)內(nèi)部,所述換向齒輪箱(15)側(cè)壁上安裝有從動軸(16),所述驅(qū)動軸(17)導(dǎo)入所述換向齒輪箱(15)內(nèi)部的一端連接有嚙合齒輪(26),所述從動軸(16)導(dǎo)入所述換向齒輪箱(15)內(nèi)部的一端同樣連接有嚙合齒輪(26),兩個所述嚙合齒輪(26)之間相嚙合,所述從動軸(16)通過套接在其上的同步帶(7)與位于所述從動軸(16)下方的主動輪(6)相連接,所述主動輪(6)與位于所述換向齒輪箱(15)正下方的驅(qū)動電機(5)的軸相連接,所述換向齒輪箱(15)一側(cè)安裝有固定在所述支架(1)側(cè)壁上的PLC控制器(8),所述傳送鏈(4)正上方安裝有若干個位置與所述上料軌道(3)相對應(yīng)的液壓泵(19),所述液壓泵(19)通過位于其底部的撐桿固定在所述支架(1)上且不與所述傳送鏈(4)相接觸,每個所述液壓泵(19)側(cè)壁上均通過液壓伸縮桿連接有一塊液壓推板(20);
每個所述上料軌道(3)頂端與所述支架(1)之間的連接處均安裝有一塊擋板(21),每個所述擋板(21)中部均設(shè)置有一個出口(25),所述出口(25)頂部安裝有氣泵(22),所述氣泵(22)底部連接有一根氣動伸縮桿(23),所述氣動伸縮桿(23)底端連接有調(diào)節(jié)板(24)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置,其特征在于,所述進料軌道(10)、所述上料軌道(3)的一端以及所述出口(25)均正對著所述傳送鏈(4)頂部的所述工位(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置,其特征在于,所述工位(11)通過所述傳送鏈(4)與所述支架(1)頂部之間轉(zhuǎn)動連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置,其特征在于,所述驅(qū)動電機(5)通過所述換向齒輪箱(15)與所述傳送鏈(4)之間傳動連接,所述主動輪(6)通過所述同步帶(7)與所述從動軸(16)之間傳動連接,所述從動軸(16)與所述主動齒輪(18)之間通過兩個所述嚙合齒輪(26)以及所述驅(qū)動軸(17)傳動連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置,其特征在于,所述調(diào)節(jié)板(24)通過所述氣動伸縮桿(23)與所述出口(25)內(nèi)壁之間呈活動連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置,其特征在于,所述PLC控制器(8)通過若干根導(dǎo)線分別與所述驅(qū)動電機(5)、所述液壓泵(19)、所述氣泵(22)之間有線連接。
7.一種如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備的自動上料裝置的工作方法,其特征在于,具體步驟包括:
步驟一:先將每個所述上料軌道(3)與半導(dǎo)體封裝設(shè)備的進料口之間進行對接,每個所述上料軌道(3)對應(yīng)一種原材料,隨后,通過所述PLC控制器(8)先控制所述氣泵(22)啟動,利用所述氣泵(22)驅(qū)動所述氣動伸縮桿(23)伸縮,帶動所述調(diào)節(jié)板(24)在所述出口(25)內(nèi)部上下活動,對所述出口(25)大小的調(diào)節(jié),所述出口(25)的高度被預(yù)先限定并與不同種類的原料規(guī)格相對應(yīng),并且不同所述上料軌道(3)端部對應(yīng)的所述出口(25)高度各不相同;
步驟二:所述進料軌道(10)進入未經(jīng)過分類整理的半導(dǎo)體封裝所需的原材料并落在所述工位(11)上,通過所述PLC控制器(8)控制所述驅(qū)動電機(5)啟動,利用所述驅(qū)動電機(5)驅(qū)動所述主動輪(6)轉(zhuǎn)動,帶動所述換向齒輪箱(15)運作,從而帶動整個所述傳送鏈(4)勻速轉(zhuǎn)動,并且?guī)铀龉の?11)在所述傳送鏈(4)上逆時針轉(zhuǎn)動,當(dāng)所述工位(11)移動到所述上料軌道(3)附近時,所述PLC控制器(8)控制所述液壓泵(19)啟動,利用所述液壓泵(19)驅(qū)動所述液壓推板(20)伸縮來將原料從所述工位(11)上推入所述出口(25)并落入所述上料軌道(3)上,不同的所述上料軌道(3)上篩選出不同種類的原料。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
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