[發(fā)明專利]剝離液回收系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910243218.2
• 申請日: 2019-03-28
• 公開（公告）號: CN109925781A
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柴國慶;陳思
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明提供一種剝離液回收系統(tǒng)，其依序包括回收液回收裝置、光阻固化裝置、光阻固化物過濾裝置、金屬離子過濾裝置、小分子過濾裝置、回收液存儲(chǔ)裝置、有效成分添加裝置和補(bǔ)給監(jiān)控裝置。可通過在線管理模式，充分利用其有效成分，對生產(chǎn)過程中含低濃度光阻剝離液回收液再利用，提高剝離藥液使用效率，降低生產(chǎn)成本；優(yōu)化剝離藥液管理模式，簡化藥液回收、調(diào)制及回收使用過程，降低成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及回收液回收技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種剝離液回收系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在目前顯示器生產(chǎn)企業(yè)中，剝離液(Stripper)被大量廣泛的應(yīng)用在圖案形成后的剝離工序。

由于工藝需求不同，對應(yīng)生產(chǎn)過程中光刻膠膜厚與工藝膜層的粘附性不同，導(dǎo)致不同工藝膜層剝離工序中光阻膠含量不同，因此由剝離液所產(chǎn)生的剝離效果差異較大。

通常在藥液管理上采用區(qū)分管理的方式進(jìn)行，廢舊藥液統(tǒng)一排放給回收液系統(tǒng)，并且可在藥液生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行回收液回收再利用。但是由于剝離液消耗量巨大，且其回收再利用過程復(fù)雜，涉及到蒸餾、分離、添加劑補(bǔ)充等多工序。盡管如此，依然會(huì)導(dǎo)致回收循環(huán)使用的藥液金屬離子偏高，影響薄膜晶體管(TFT)特性的問題。

此外，我們還發(fā)現(xiàn)使用紫外、紅外光學(xué)檢測系統(tǒng)對剝離液中光阻含量進(jìn)行測量時(shí)存在一定的局限性。

因此，有必要提供一種新式的剝離液回收系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中藥液利用率低、藥液金屬離子偏高的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種剝離液回收系統(tǒng)，可通過在線管理模式，對生產(chǎn)過程中含低濃度光阻剝離液回收液再利用，提高生產(chǎn)效率、提高藥液利用率。

為了解決上述問題，本發(fā)明一實(shí)施例中提供一種剝離液回收系統(tǒng)，其依序包括回收液回收裝置、光阻固化裝置、光阻固化物過濾裝置、金屬離子過濾裝置、小分子過濾裝置、回收液存儲(chǔ)裝置、有效成分添加裝置和補(bǔ)給監(jiān)控裝置?；厥找夯厥昭b置連接至第一工作臺(tái)的排液口，所述回收液回收裝置用來回收含有光阻劑以及金屬離子的回收液；光阻固化裝置與所述回收液回收裝置相連通，用于固化所述回收液中的光阻劑形成凝聚物；光阻固化物過濾裝置與所述光阻固化裝置相連通，用于過濾所述凝聚物以移除回收液中的光阻劑；金屬離子過濾裝置與所述光阻固化物過濾裝置相連通，用于過濾所述回收液中的金屬離子；小分子過濾裝置與所述金屬離子過濾裝置相連通，用于過濾所述回收液中的水分子以提高所述回收液的濃度并得到回收處理水；回收液存儲(chǔ)裝置與所述小分子過濾裝置相連通，用于存儲(chǔ)所述回收液；回收液存儲(chǔ)裝置，其一端與所述小分子過濾裝置相連通，其另一端與第二工作臺(tái)的進(jìn)液口相連通，用于存儲(chǔ)所述回收液；有效成分添加裝置與所述回收液存儲(chǔ)裝置相連通，用于補(bǔ)充光阻剝離液至所述回收液存儲(chǔ)裝置的所述回收液中；補(bǔ)給監(jiān)控裝置與所述第二工作臺(tái)相連通，用于對所述第二工作臺(tái)的光阻剝離液進(jìn)行濃度監(jiān)控，同時(shí)可對所述第二工作臺(tái)添加光阻剝離液或排放光阻剝離液。

進(jìn)一步的，其中所述回收液包括光阻剝離液。

進(jìn)一步的，其中所述補(bǔ)給監(jiān)控裝置還進(jìn)一步與所述第一工作臺(tái)相連通，用于對所述第一工作臺(tái)的光阻剝離液進(jìn)行濃度監(jiān)控，同時(shí)可對所述第一工作臺(tái)添加光阻剝離液或排放光阻剝離液。

進(jìn)一步的，其中所述回收液存儲(chǔ)裝置中的回收液濃度大于所述回收液回收裝置中的回收液濃度。

進(jìn)一步的，其中所述回收液存儲(chǔ)裝置中的回收液濃度是所述回收液回收裝置中的回收液濃度的1.5倍。

進(jìn)一步的，其中所述光阻固化裝置包括攪拌容器。

進(jìn)一步的，其中所述光阻固化物過濾裝置包括即時(shí)過濾器。

進(jìn)一步的，其中所述金屬離子過濾裝置的過濾方式包括半透膜過濾、電場過濾或電化學(xué)金屬離子凈化。

進(jìn)一步的，其中所述小分子過濾裝置采用半透膜過濾方式。