[發(fā)明專利]剝離液回收系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910243218.2
• 申請(qǐng)日: 2019-03-28
• 公開（公告）號(hào): CN109925781A
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柴國(guó)慶;陳思
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B01D36/00
• 分類號(hào): B01D36/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，包括

回收液回收裝置，連接至第一工作臺(tái)的排液口，所述回收液回收裝置用來回收含有光阻劑以及金屬離子的回收液；

光阻固化裝置，與所述回收液回收裝置相連通，用于固化所述回收液中的光阻劑形成凝聚物；

光阻固化物過濾裝置，與所述光阻固化裝置相連通，用于過濾所述凝聚物以移除回收液中的光阻劑；

金屬離子過濾裝置，與所述光阻固化物過濾裝置相連通，用于過濾所述回收液中的金屬離子；

小分子過濾裝置，與所述金屬離子過濾裝置相連通，用于過濾所述回收液中的水分子以提高所述回收液的濃度并得到回收處理水；

回收液存儲(chǔ)裝置，其一端與所述小分子過濾裝置相連通，其另一端與第二工作臺(tái)的進(jìn)液口相連通，用于存儲(chǔ)所述回收液；

有效成分添加裝置，與所述回收液存儲(chǔ)裝置相連通，用于補(bǔ)充光阻剝離液至所述回收液存儲(chǔ)裝置的所述回收液中；

補(bǔ)給監(jiān)控裝置，與所述第二工作臺(tái)相連通，用于對(duì)所述第二工作臺(tái)的光阻剝離液進(jìn)行濃度監(jiān)控，同時(shí)可對(duì)所述第二工作臺(tái)添加光阻剝離液或排放光阻剝離液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述回收液包括光阻剝離液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述補(bǔ)給監(jiān)控裝置還進(jìn)一步與所述第一工作臺(tái)相連通，用于對(duì)所述第一工作臺(tái)的光阻剝離液進(jìn)行濃度監(jiān)控，同時(shí)可對(duì)所述第一工作臺(tái)添加光阻剝離液或排放光阻剝離液。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述回收液存儲(chǔ)裝置中的回收液濃度大于所述回收液回收裝置中的回收液濃度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述第二工作臺(tái)排出的回收液濃度是所述第一工作臺(tái)排出的回收液濃度的1.5倍。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述光阻固化裝置包括攪拌容器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述光阻固化物過濾裝置包括即時(shí)過濾器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述金屬離子過濾裝置的過濾方式包括半透膜過濾、電場(chǎng)過濾或電化學(xué)金屬離子凈化。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述小分子過濾裝置采用半透膜過濾方式。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液回收系統(tǒng)，其特征在于，所述有效成分添加裝置與所述補(bǔ)給監(jiān)控裝置相連通，用以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)添加至所述第二工作臺(tái)的所述回收液中光阻剝離液的濃度。