[發明專利]一種MOCVD托盤的處理方法

在審

• 申請號: 201910217966.3
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN111719139A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 李強;鄧桃;劉飛;王朝旺;徐現剛
• 申請（專利權）人: 濰坊華光光電子有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 王楠

本發明涉及一種MOCVD托盤的處理方法，主要根據AlAs材料易于氧化的特性，在托盤上鍍覆AlAs材料和AlGaAs材料，方便后續對托盤處理時、可對托盤上的材料進行氧化，從根基對生長材料進行破壞，加快材料的脫落速率。同時，結合bake爐的高溫處理特性，對材料行進二次處理，從而讓材料更加容易處理，保證托盤的完整性與穩定性。

技術領域

本發明涉及一種對金屬有機化合物氣相沉淀(MOCVD)設備使用托盤的處理方法以達到使托盤能夠快速簡易清理的目的，屬于半導體技術領域。

背景技術

伴隨著現代社會的發展，資源問題日益突出，如何能夠尋找無污染、可再生的資源成為擺在我們面前的首要問題，可持續發展與生態環境的保護也日益成為我們工作關注的重點。如何在不耽誤現有生產力的基礎上，找到更好的能源替代者，或者減少能源消耗，已經逐漸的成為了我們現有工作的方向。

于是在這種情況下，基于LED的特性，它開始得到廣泛的應用。LED的內在特征決定了它是最理想的光源去代替傳統的光源，以達到我們節能降耗的目的。LED有著廣泛的用途以及不可替代的優勢：一、體積小，LED基本上都是一塊很小的晶片被封裝在環氧樹脂里面，所以它非常的小，非常的輕；二、耗電量低，LED耗電相當低，一般來說LED的工作電壓是2-3.6V。工作電流是0.02-0.03A。這就是說：它消耗的電能不超過0.1W，這就為我們在能源方面的工作提出了指導性的意義；三、使用壽命長，LED光源固體冷光源，環氧樹脂封裝，燈體內也沒有松動的部分，不存在燈絲發光易燒、熱沉積、光衰等缺點，在恰當的電流和電壓下，使用壽命可達6萬到10萬小時，比傳統光源壽命長10倍以上；四、高亮度、低熱量，LED使用冷發光技術，發熱量比普通照明燈具低很多；五、環保，環保效益更佳，光譜中沒有紫外線和紅外線，既沒有熱量，也沒有輻射，眩光小，而且廢棄物可回收，沒有污染不含汞元素，冷光源，可以安全觸摸，屬于典型的綠色照明光源LED是由無毒的材料作成，不像熒光燈含水銀會造成污染，同時LED也可以回收再利用；六、堅固耐用，LED是被完全的封裝在環氧樹脂里面，它比燈泡和熒光燈管都堅固。燈體內也沒有松動的部分，這些特點使得LED可以說是不易損壞的；七、高節能：節能能源無污染即為環保。直流驅動，超低功耗(單管0.03-0.06瓦)電光功率轉換接近100％，相同照明效果比傳統光源節能80％以上；八、多變幻，LED光源可利用紅、綠、藍三基色原理，在計算機技術控制下使三種顏色具有256級灰度并任意混合，即可產生256×256×256＝16777216種顏色，形成不同光色的組合變化多端，實現豐富多彩的動態變化效果及各種圖像。

由于LED具有如此不可忽略與替代的優勢，如何制造出高亮度、符合我們要求的產品又成為我們的工作重點。金屬有機物化學氣相沉積(Metal Organic Chemical VapourDeposition，簡稱MOCVD)設備是目前世界范圍內進行所有半導體化合物生長的成熟技術。

MOCVD技術自二十世紀六十年代首先提出以來，經過七十至八十年代的發展，九十年代已經成為砷化鎵、磷化銦等光電子材料外延片制備的核心生長技術。目前已經在砷化鎵、磷化銦等光電子材料生產中得到廣泛應用。

外延技術與設備是外延片制造技術的關鍵所在，金屬有機物化學氣相淀積(Metal-Organic Chemical VaporDeposition，簡稱MOCVD)技術是生長III-V族，II-VI族化合物及合金的薄層單晶的主要方法。II、III族金屬有機化合物通常為甲基或乙基化合物，如：Ga(CH3)3，In(CH3)3，Al(CH3)3，Ga(C2H5)3，Zn(C2H5)3等，它們大多數是高蒸汽壓的液體或固體。用氫氣或氮氣作為載氣，通入液體中攜帶出蒸汽，與V族的氫化物(如NH3，PH3，AsH3)混合，再通入反應室，在加熱的襯底表面發生反應，外延生長化合物晶體薄膜。

MOCVD設備作為能夠進行快速大量生產的設備，在市場上收到廣泛好評。而托盤作為承載生長的介質，如何能夠保證快速且高效的處理托盤，為生長提供一個穩定的條件，就成為限制批量生長的條件。