[發明專利]一種全自動爐室升降旋轉系統

在審

• 申請號: 201910216481.2
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN109837585A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;胡建榮;高宇;倪軍夫;葉鋼飛;春偉博;譚慶;梁成鋒
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本發明是關于單晶硅制備設備領域，特別涉及一種全自動爐室升降旋轉系統。包括立柱本體；立柱本體側壁上自上至下沿線性依次設有上支撐座、升降機支座與下支撐座；升降機支座內設有通過伺服電機驅動的升降機組件；提升機構包括絲桿，絲桿下端與升降機組件相連；絲桿中部通過螺母連接有提升板，絲桿頂端設有絲桿頂座，絲桿頂座固設于立柱本體上；提升塊一端和爐體連接，另一端通過調節支架與托架相連，托架固設于提升軸承座側部。本發明旋轉機構和升降組件配合使設備運行更加平穩，在旋轉和升降精度上達到半導體設備的要求。

技術領域

本發明是關于單晶硅制備設備領域，特別涉及一種全自動爐室升降旋轉系統。

背景技術

單晶硅是電子信息材料和光伏行業中的最基礎性材料，而直拉法單晶爐是生產硅單晶的關鍵技術裝備。單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用石墨加熱器將原料硅熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。在裝料，取晶棒，清理等環節，根據不同的需求，需要將副爐室，隔離閥，爐蓋或主爐室提升至一定高度并旋開，以便完成不同的任務要求。

目前，在實現爐室升降旋轉的方案中，使用的是靠液壓油缸升降，電機和鏈輪控制旋轉。雖然實現了一定程度的自動化，但是為了實現該方法，使用液壓系統存在漏油會污染環境，半導體設備對環境要求嚴格，且漏油在高溫下易燃燒，存在安全隱患。現有設備沒有主室旋轉功能，而鏈輪傳動的旋轉系統則存在啟動慢，旋轉精度等問題。鑒于上述問題，因此選擇更加適當的驅動方式和傳動方式，并設計更為簡便的結構是本領域技術人員目前需要解決的問題。

發明內容

本發明的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種全自動爐體升降旋轉機構。

為了解決上述技術問題，本發明提供如下技術方案：

一種全自動爐體升降旋轉機構，包括立柱本體、旋轉機構、提升機構與托架組件。

立柱本體側壁上自上至下沿線性依次設有上支撐座、升降機支座與下支撐座；

升降機支座內設有通過伺服電機驅動的升降機組件；

提升機構包括絲桿，絲桿下端與升降機組件相連；絲桿中部通過螺母連接有提升板，絲桿頂端設有絲桿頂座，絲桿頂座固設于立柱本體上；第二導向軸下端固設于升降機支座內；

旋轉機構固設于提升板上端面上，提升軸承座與旋轉機構相連，第一導向軸下端通過自潤滑軸承設于提升軸承座內，上端與上支撐座相連；第一導向軸上端設于上支撐座內；

第一導向軸與第二導向軸均穿過提升板，并分別通過自潤滑軸承與直線軸承進行固定于定位；

托架組件包括托架、調節支架和提升塊；提升塊一端和爐體連接，另一端通過調節支架與托架相連，托架固設于提升軸承座側部。

作為一種改進，托架上設有腰型孔，調節支架架在托架的水平調整板上通過螺釘調節水平，通過腰形孔調節前后位置，并用螺釘緊固。

作為一種改進，直線軸承和提升板通過螺紋連接。

作為一種改進，自潤滑軸承在軸承座與提升板內通過封板和臺階面定位。

作為一種改進，提升板上端面設有限位塊，用于限制提升軸承座的旋轉角度。

作為一種改進，第二導向軸旁側的立柱本體上設有上下限位固定板，上下限位固定板上設有限位開關。

與現有技術相比，本發明的有益效果為：

旋轉機構和升降組件配合使設備運行更加平穩，在旋轉和升降精度上達到半導體設備的要求。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。