[發明專利]一種全自動爐室升降旋轉系統在審
| 申請號: | 201910216481.2 | 申請日: | 2019-03-21 |
| 公開(公告)號: | CN109837585A | 公開(公告)日: | 2019-06-04 |
| 發明(設計)人: | 曹建偉;傅林堅;胡建榮;高宇;倪軍夫;葉鋼飛;春偉博;譚慶;梁成鋒 | 申請(專利權)人: | 浙江晶盛機電股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/30 | 分類號: | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司: | 杭州中成專利事務所有限公司 33212 | 代理人: | 周世駿 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 立柱本體 絲桿 升降機 升降旋轉系統 升降機組件 全自動爐 絲桿頂 固設 托架 伺服電機驅動 單晶硅 半導體設備 螺母連接 上支撐座 設備運行 升降組件 絲桿頂端 提升機構 下支撐座 旋轉機構 制備設備 提升板 軸承座 側壁 爐體 下端 支架 升降 配合 | ||
1.一種全自動爐體升降旋轉機構,其特征在于,包括立柱本體、旋轉機構、提升機構與托架組件;
所述立柱本體側壁上自上至下沿線性依次設有上支撐座、升降機支座與下支撐座;所述升降機支座內設有通過伺服電機與行星減速機驅動的升降機組件;
所述提升機構包括絲桿,絲桿下端與升降機組件相連;絲桿中部通過螺母連接有提升板,絲桿頂端設有絲桿頂座,絲桿頂座固設于立柱本體上;第二導向軸下端固設于升降機支座內;
所述旋轉機構固設于提升板上端面上,提升軸承座與旋轉機構相連,第一導向軸下端通過自潤滑軸承設于提升軸承座內,上端與上支撐座相連;第一導向軸上端設于上支撐座內;
所述第一導向軸與第二導向軸均穿過提升板,并分別通過自潤滑軸承與直線軸承進行固定于定位;
所述托架組件包括托架、調節支架和提升塊;提升塊一端和爐體連接,另一端通過調節支架與托架相連,托架固設于提升軸承座側部。
2.根據權利要求1所述的機構,其特征在于,所述托架上設有腰型孔,調節支架架在托架的水平調整板上通過螺釘調節水平,通過腰形孔調節前后位置,并用螺釘緊固。
3.根據權利要求1所述的機構,其特征在于,所述直線軸承和提升板通過螺紋連接。
4.根據權利要求1所述的機構,其特征在于,所述自潤滑軸承在軸承座與提升板內通過封板和臺階面定位。
5.根據權利要求1所述的機構,其特征在于,所述提升板上端面設有限位塊,用于限制提升軸承座的旋轉角度。
6.根據權利要求1所述的機構,其特征在于,所述第二導向軸旁側的立柱本體上設有上下限位固定板,上下限位固定板上設有限位開關。
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