[發(fā)明專利]基板、顯示面板以及基板的制備方法

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• 申請日: 2019-03-20
• 公開（公告）號: CN109887983A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐海峰;熊正平;張鍇;王文濤;王培;劉紅燦;王承賢;王子峰
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;綿陽京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/52;H01L23/532;H01L21/77
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張?zhí)焓?/td>

1.一種基板，包括：基底，設(shè)于所述基底上的多根引線，位于所述引線上方的中間層，位于所述中間層上方的第一電極；

其特征在于，

所述引線包括第一材料層和第二材料層，其中，第一材料層比第二材料層更靠近基底，且用于刻蝕所述第一電極的刻蝕液對所述第一材料層的刻蝕速率大于對所述第二材料層的刻蝕速率；

所述中間層具有過孔，所述過孔在基底上的正投影與所述引線在基底上的正投影部分重疊，且所述過孔在基底上的部分正投影超出所述引線在基底上的正投影；

所述引線在所述過孔處的側(cè)面由保護結(jié)構(gòu)覆蓋，所述保護結(jié)構(gòu)與所述第一電極同層設(shè)置；與不同所述引線接觸的所述保護結(jié)構(gòu)相互絕緣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板，其特征在于，所述保護結(jié)構(gòu)還覆蓋所述引線在所述過孔處的邊緣區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板，其特征在于，所述基板包括顯示區(qū)和環(huán)繞所述顯示區(qū)周邊的周邊區(qū)，所述過孔設(shè)置于所述周邊區(qū)且環(huán)繞所述顯示區(qū)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板，其特征在于，所述中間層上方設(shè)有有機發(fā)光二極管器件，所述有機發(fā)光二極管器件包括所述第一電極、位于所述第一電極上方的發(fā)光層、位于所述發(fā)光層上方的第二電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板，其特征在于，所述第一電極為陽極層，所述第二電極為陰極層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板，其特征在于，

所述第一材料層由鋁構(gòu)成，所述第二材料層由鈦構(gòu)成；

所述第一電極的材料包括氧化銦錫和銀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板，其特征在于，所述基板還包括薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括柵極、源極、漏極，所述引線至少與所述柵極、所述源極、所述漏極中的一者同層設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一所述的基板，其特征在于，所述中間層為平坦化層。

9.一種顯示面板，其特征在于，包括權(quán)利要求1至8中任一所述的基板。

10.一種基板的制備方法，其特征在于，包括：

在基板上形成多根引線；

在所述引線上方形成中間層，在所述中間層上形成過孔，所述過孔在基底上的正投影與所述引線在基底上的正投影部分重疊，且所述過孔在基底上的部分正投影超出所述引線在基底上的正投影；

在所述中間層上方形成第一電極材料層，對所述第一電極材料層進行刻蝕，形成第一電極、保護結(jié)構(gòu)；

其中，所述引線包括第一材料層和第二材料層，其中，第一材料層比第二材料層更靠近基底，且用于刻蝕所述第一電極的刻蝕液對所述第一材料層的刻蝕速率大于對所述第二材料層的刻蝕速率；

所述引線在所述過孔處的側(cè)面由保護結(jié)構(gòu)覆蓋，與不同所述引線接觸的所述保護結(jié)構(gòu)相互絕緣。