[發(fā)明專利]涂布裝置及涂布方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910192684.2 | 申請日： | 2019-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN110548954A | 公開（公告）日： | 2019-12-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 林久樹 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社電裝天 |
| 主分類號： | B23K3/08 | 分類號： | B23K3/08;B23K3/06;B23K1/20;H05K3/34 |
| 代理公司： | 11021 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 海坤 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 涂布液噴嘴 涂布液 壁部 基板 空氣噴嘴部 涂布裝置 噴射 噴射空氣 區(qū)域引導(dǎo) 涂布涂布 飛散 流路 包圍 配置 | ||
1.一種涂布裝置，其特征在于，
所述涂布裝置具備：
涂布液噴嘴部，其朝向基板的規(guī)定區(qū)域噴射涂布液；
壁部，其以包圍所述基板的所述規(guī)定區(qū)域的方式配置，且在內(nèi)部形成有將從所述涂布液噴嘴部噴射出的涂布液向所述規(guī)定區(qū)域引導(dǎo)的流路；以及
空氣噴嘴部，其與所述壁部相鄰地設(shè)置，且朝向所述基板噴射空氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，
所述空氣噴嘴部與所述壁部的外周部的一部分相鄰地設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的涂布裝置，其特征在于，
所述空氣噴嘴部在所述基板的涂布面上安裝有部件的一側(cè)與所述壁部相鄰地設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于，
所述空氣噴嘴部具備呈圓形狀開口且噴射空氣的噴射口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于，
所述涂布裝置還具備控制所述空氣噴嘴部的空氣噴射動作的控制部，
所述控制部對在所述涂布液噴嘴部噴射所述涂布液的噴射時從所述空氣噴嘴部噴射的空氣的流量與在所述涂布液噴嘴部不噴射所述涂布液的非噴射時從所述空氣噴嘴部噴射的空氣的流量進(jìn)行變更。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的涂布裝置，其特征在于，
所述控制部以使所述涂布液的非噴射時的空氣的流量比所述涂布液的噴射時的空氣的流量增加的方式變更從所述空氣噴嘴部噴射的空氣的流量。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于，
所述涂布裝置還具備朝向安裝于第二規(guī)定區(qū)域的部件噴射空氣的第二空氣噴嘴部，所述第二規(guī)定區(qū)域是所述基板的涂布面中的與所述規(guī)定區(qū)域不同的區(qū)域。
8.一種涂布方法，其特征在于，
所述涂布方法包括：
涂布液噴射工序，在該涂布液噴射工序中，使用朝向基板的規(guī)定區(qū)域噴射涂布液的涂布液噴嘴部和配置成包圍所述基板的所述規(guī)定區(qū)域的壁部來朝向所述基板的所述規(guī)定區(qū)域噴射涂布液，在所述壁部的內(nèi)部形成有將從所述涂布液噴嘴部噴射出的涂布液向所述規(guī)定區(qū)域引導(dǎo)的流路；以及
空氣噴射工序，在該空氣噴射工序中，使用與所述壁部相鄰地設(shè)置且朝向所述基板噴射空氣的空氣噴嘴部來朝向所述基板噴射空氣。
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