[發(fā)明專利]一種具有加熱功能的夾取器及濕法槽式清洗設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910185426.1
• 申請日: 2019-03-12
• 公開（公告）號: CN109935540A
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許峯嘉;莊海云;黎嘉豪
• 申請（專利權(quán)）人: 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司;至微半導體（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 上海智力專利商標事務(wù)所(普通合伙) 31105
• 代理人: 杜冰云

1.一種具有加熱功能的夾取器，其特征在于，包括

用以夾取清洗槽內(nèi)的濕晶圓盒（1）的夾取手（2），

以及用以帶動夾取手（2）動作的搬送機構(gòu)；

其中，所述夾取手（2）通過橫桿（3）與搬送機構(gòu)相連接，夾取手（2）包括固定組件和具有加熱功能的夾桿（4），所述固定組件安裝在橫桿（3）上，夾桿（4）安裝在固定組件上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述固定組件包括支撐塊（5）和固定塊（6），所述支撐塊（5）上開設(shè)有第一卡槽（7），固定塊（6）上開設(shè)有第二卡槽（8），支撐塊（5）和固定塊（6）通過緊固件固定為一體從而使第一卡槽（7）與第二卡槽（8）組合成一個用以使橫桿（3）穿過的槽孔，

所述固定塊（6）上縱向開設(shè)有固定槽（9），夾桿（4）的端部固定在所述固定槽（9）內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述夾桿（4）為加熱棒，所述加熱棒的外側(cè)套設(shè)有一層防護層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述防護層采用的是PFA塑料。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述加熱棒包括從外向內(nèi)依次設(shè)置的不銹鋼外殼（10）、絕緣內(nèi)膽（11）、發(fā)熱絲（12）和密封材料層（13），所述密封材料層（13）內(nèi)設(shè)置有熱電偶合金絲（14）和用于與發(fā)熱絲（12）連接的連接導線（15）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述加熱棒呈U字形。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，夾取手（2）上還設(shè)置有限位開關(guān)（16），所述限位開關(guān)（16）通過支撐架（17）固定在支撐塊（5）上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述限位開關(guān)（16）的底部還固定有限位棒（18）。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有加熱功能的夾取器，其特征在于，所述搬送機構(gòu)包括升降機構(gòu)（19）、固定在升降機構(gòu)（19）上的聯(lián)動夾緊機構(gòu)（20），所述升降機構(gòu)（19）和聯(lián)動夾緊機構(gòu)（20）均勻所述濕法清洗設(shè)備的控制系統(tǒng)電連接。

10.一種濕法槽式清洗設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9中任一項所述的具有加熱功能的夾取器。