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[發明專利]環烯烴組合物及應用其的半導體容器在審

專利信息
申請號: 201910184119.1 申請日: 2019-03-12
公開(公告)號: CN111500005A 公開(公告)日: 2020-08-07
發明(設計)人: 江俊彥;邱銘乾 申請(專利權)人: 家登精密工業股份有限公司
主分類號: C08L45/00 分類號: C08L45/00;C08K3/04
代理公司: 深圳市舜立知識產權代理事務所(普通合伙) 44335 代理人: 侯藝
地址: 中國臺灣新北*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 烯烴 組合 應用 半導體 容器
【權利要求書】:

1.一種環烯烴半導體容器,由一環烯烴組合物所制成,其特征在于,所述環烯烴組合物包括添加石墨烯材料的環烯烴共聚物或添加石墨烯材料的環烯烴聚合物,所述石墨烯材料所占的重量百分比為0.6%~1.8%;

所述石墨烯材料為石墨烯微片、氧化石墨烯或其組合。

2.如權利要求1所述的環烯烴半導體容器,其特征在于,所述環烯烴半導體容器為光罩載具或基板載具。

3.如權利要求2所述的環烯烴半導體容器,其特征在于,所述的環烯烴半導體容器比重范圍為1~1.2。

4.如權利要求2所述的環烯烴半導體容器,其特征在于,所述的環烯烴半導體容器含水率范圍為0.0001%~0.01%。

5.如權利要求2所述的環烯烴半導體容器,其特征在于,所述的環烯烴半導體容器縮水率范圍為0.1%~0.5%。

6.如權利要求5所述的環烯烴半導體容器,其特征在于,所述的環烯烴半導體容器耐沖擊強度范圍為30焦耳/公尺~50焦耳/公尺。

7.一種環烯烴組合物,其特征在于,包括添加石墨烯材料的環烯烴共聚物或添加石墨烯材料的環烯烴聚合物,其中石墨烯材料所占的重量百分比為0.6%~1.8%;

所述石墨烯材料為石墨烯微片、氧化石墨烯或其組合。

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