[發(fā)明專利]非破壞檢測方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910183815.0
• 申請(qǐng)日: 2019-03-12
• 公開（公告）號(hào): CN110270769B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 筑地修一郎;一宮佑希
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B23K26/53
• 分類號(hào): B23K26/53;B23K26/03;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種非破壞檢測方法，以非破壞方式對(duì)改質(zhì)層進(jìn)行檢測，該改質(zhì)層是通過將對(duì)于被加工物具有透過性的波長的激光光線的聚光點(diǎn)定位于被加工物的內(nèi)部并沿著X軸方向照射激光光線而以在該X軸方向上分開地排列的方式形成的，該被加工物具有第一面和該第一面的相反側(cè)的第二面，其中，該非破壞檢測方法具有如下的工序：

準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備如下的檢查裝置：該檢查裝置具有拍攝單元、光源、驅(qū)動(dòng)單元以及存儲(chǔ)單元，其中，該拍攝單元具有物鏡并且從該第一面?zhèn)葘?duì)被加工物的內(nèi)部進(jìn)行拍攝，該光源從該第一面?zhèn)日丈鋵?duì)于被加工物具有透過性的波段的光，該驅(qū)動(dòng)單元使該物鏡相對(duì)于該第一面接近或遠(yuǎn)離，該存儲(chǔ)單元對(duì)該拍攝單元所拍攝到的圖像進(jìn)行存儲(chǔ)；

獲取工序，在將與該第一面平行的面設(shè)為X軸Y軸平面的情況下，使該物鏡間歇地在與X軸Y軸平面垂直的Z軸方向上隔開規(guī)定的間隔(H)而接近該第一面，將焦點(diǎn)定位于在Z軸方向上按照該物鏡的Z軸方向的移動(dòng)量乘以被加工物的折射率而計(jì)算出的間隔分開的被加工物內(nèi)的形成有該改質(zhì)層的Z軸坐標(biāo)位置，并按照每個(gè)Z軸坐標(biāo)值來獲取被加工物的內(nèi)部的包含該改質(zhì)層的多個(gè)X軸Y軸平面圖像并存儲(chǔ)于該存儲(chǔ)單元；

存儲(chǔ)工序，針對(duì)根據(jù)在該獲取工序中存儲(chǔ)的每個(gè)Z軸坐標(biāo)值的多個(gè)X軸Y軸平面圖像而生成的三維圖像，計(jì)算出通過反卷積而去除了模糊后的清晰的三維清晰圖像并存儲(chǔ)于該存儲(chǔ)單元；以及

檢測工序，從通過將在該存儲(chǔ)工序中存儲(chǔ)的該三維清晰圖像與Z軸平行地切斷而得的改質(zhì)層的剖面的二維圖像中求出改質(zhì)層的Z軸坐標(biāo)值和Z軸方向的改質(zhì)層的長度，并且從通過將該三維清晰圖像與Z軸垂直地切斷而得的剖面的二維圖像中檢測從該改質(zhì)層在X軸方向上延伸的龜裂。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非破壞檢測方法，其中，

所述反卷積是：將根據(jù)在所述獲取工序中存儲(chǔ)的每個(gè)Z軸坐標(biāo)值的X軸Y軸平面圖像而生成的三維圖像的傅里葉變換除以三維點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的傅里葉變換，接著進(jìn)行傅里葉逆變換而計(jì)算出清晰的三維清晰圖像，其中，該三維點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)表示定位于改質(zhì)層內(nèi)的該拍攝單元的焦點(diǎn)因光學(xué)系統(tǒng)而引起的模糊效應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非破壞檢測方法，其中，

所述三維點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)是Gibson-Lanni模型的公式。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非破壞檢測方法，其中，

在所述存儲(chǔ)工序中存儲(chǔ)的清晰的該三維清晰圖像是通過如下方式得到的：

在包含剛通過所述反卷積而去除了模糊后的每個(gè)該Z軸坐標(biāo)值的清晰的多個(gè)X軸Y軸清晰平面圖像的三維清晰圖像中，根據(jù)與對(duì)象像素在Z軸方向上相鄰的兩個(gè)X軸Y軸清晰平面圖像的像素的像素值和距離，使用線性內(nèi)插法來計(jì)算對(duì)置的該兩個(gè)X軸Y軸清晰平面圖像之間的該對(duì)象像素的像素值，從而對(duì)分開的X軸Y軸清晰平面圖像之間的多個(gè)像素的像素值進(jìn)行內(nèi)插。