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[發(fā)明專利]一種錫球生產(chǎn)工藝、清洗劑及其制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201910181969.6 申請日: 2019-03-11
公開(公告)號: CN109852977A 公開(公告)日: 2019-06-07
發(fā)明(設計)人: 王溯;方云英;李成克 申請(專利權)人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
主分類號: C23G1/06 分類號: C23G1/06;C23G1/10;C23C22/46;C23C22/58
代理公司: 上海弼興律師事務所 31283 代理人: 薛琦;王衛(wèi)彬
地址: 201616 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 清洗劑 錫球 生產(chǎn)工藝 制備 質(zhì)量分數(shù) 鈍化劑 陰離子型表面活性劑 防變色劑 影響錫球 甘氨酸 緩蝕劑 有機酸 清洗 腐蝕
【權利要求書】:

1.一種錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其使用清洗劑對錫球進行清洗,其中所述的清洗劑包括下列質(zhì)量分數(shù)的組分:20%-50%的有機酸、1%-2%的防變色劑、1%-3%的緩蝕劑、0.1%-1%的鈍化劑、1%-2%的陰離子型表面活性劑、和水,各組分質(zhì)量分數(shù)之和為100%;所述鈍化劑為甘氨酸。

2.如權利要求1所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其中所述的清洗劑中所述的有機酸的質(zhì)量分數(shù)為25%-40%,較佳地為30%-35%;

和/或,所述的防變色劑的質(zhì)量分數(shù)為1.3%-1.7%,較佳地為1.5%-1.6%;

和/或,所述的緩蝕劑的質(zhì)量分數(shù)為1.5%-2.5%,較佳地為1.7%-2%;

和/或,所述的鈍化劑的質(zhì)量分數(shù)為0.2%-0.5%,較佳地為0.3%-0.4%;

和/或,所述的陰離子型表面活性劑的質(zhì)量分數(shù)為1.2%-1.7%,較佳地為1.4%-1.5%。

3.如權利要求1所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其中所述的清洗劑中所述的有機酸為二元羧酸和/或三元羧酸,較佳地為檸檬酸、草酸、己二酸、馬來酸、蘋果酸、衣康酸、丙二酸、乙二酸和酒石酸中的一種或多種;

和/或,所述防變色劑為硫醇類化合物,較佳地為丙硫醇、4-甲基-4H-1,2,4-三唑-3-硫醇和5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇中的一種或多種;

和/或,所述的緩蝕劑為苯酚類化合物、苯甲酸類化合物和羥肟酸類化合物中的一種或多種;

和/或,所述的陰離子型表面活性劑為磺酸鹽類化合物,較佳地為十二烷基苯磺酸鈉、棕櫚酸甲酯磺酸鈉和十二烷基磺酸鈉中的一種或多種;

和/或,所述的水為去離子水、蒸餾水、純水和超純水中的一種或多種。

4.如權利要求3所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其中所述的清洗劑中所述的苯酚類化合物為對苯二酚、鄰苯二酚和兒茶酚中的一種或多種;

和/或,所述的苯甲酸類化合物為苯甲酸和/或沒食子酸;

和/或,所述的羥肟酸類化合物為苯甲羥肟酸。

5.如權利要求1-4任一項所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其中所述的清洗劑由下列質(zhì)量分數(shù)的組分組成:20%-50%的有機酸、1%-2%的防變色劑、1%-3%的緩蝕劑、0.1%-1%的鈍化劑、1%-2%的陰離子型表面活性劑和水組成,各組分質(zhì)量分數(shù)之和為100%;所述鈍化劑為甘氨酸。

6.如權利要求1-4任一項所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其中所述的清洗劑由下列質(zhì)量分數(shù)的組分組成:25%-40%的有機酸、1.3%-1.7%的防變色劑、1.5%-2.5%的緩蝕劑、0.2%-0.5%的鈍化劑、1.2%-1.7%的陰離子型表面活性劑和水組成,各組分質(zhì)量分數(shù)之和為100%;所述鈍化劑為甘氨酸。

7.如權利要求1-4任一項所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,其中所述的清洗劑由下列質(zhì)量分數(shù)的組分組成:30%-35%的有機酸、1.5%-1.6%的防變色劑、1.7%-2%的緩蝕劑、0.3%-0.4%的鈍化劑、1.4%-1.5%的陰離子型表面活性劑和水組成,各組分質(zhì)量分數(shù)之和為100%;所述鈍化劑為甘氨酸。

8.如權利要求1所述的錫球生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述的使用清洗劑對錫球進行清洗的操作包括下列步驟:將錫球與所述的清洗劑經(jīng)溢流循環(huán)清洗、干燥即可;

所述的錫球的直徑優(yōu)選為0.5mm、10mm、15mm或20mm;

所述的溢流循環(huán)清洗優(yōu)選在清洗槽中進行;

所述的溢流循環(huán)清洗的溢流速度優(yōu)選為1-3m3/min;

所述的溢流循環(huán)清洗的時間優(yōu)選為1-2h;

所述的溢流循環(huán)清洗的溫度優(yōu)選為10-30℃;

所述的干燥的方法優(yōu)選為用氮氣吹干。

9.一種清洗劑,其特征在于,其各組分和含量如權利要求1-8任一項所述錫球生產(chǎn)工藝中的所述清洗劑的組分和用量。

10.一種如權利要求9所述的清洗劑的制備方法,其特征在于,其包括下列步驟:將所述的清洗劑的各組分混合,即可。

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