[發明專利]物理量傳感器、物理量傳感器裝置以及傾斜儀

有效

• 申請號: 201910173618.0
• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN110244082B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發明（設計）人: 佐藤健太
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097;G01P15/135;G01L1/10
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 潘樹志

本申請提供物理量傳感器、物理量傳感器裝置以及傾斜儀，其能夠降低或防止在制造時或者因不同材料的熱膨脹系數差而產生的應力應變對物理量檢測信號產生不良影響。一種物理量傳感器，具有基部、至少兩個臂部、可動部、縮窄部以及物理量檢測元件，在俯視觀察下，固定區域配置于由第一直線劃分而成的第一區域和第二區域，第一直線沿著橫跨縮窄部的方向通過物理量檢測元件的中心，并且，在俯視觀察下，在由第一直線和第二直線劃分而成的四個區域中，位于比第二直線更靠基部側的第一區域的第三區域以及位于比第二直線更靠基部側的第二區域的第四區域中的至少一方中沒有配置固定區域，第二直線在縮窄部上通過且與第一直線正交。

技術領域

本發明涉及物理量傳感器、物理量傳感器裝置、使用了物理量傳感器裝置的傾斜儀、慣性計測裝置、結構物監視裝置及移動體等。

背景技術

專利文獻1中記載了一種加速度檢測裝置，其具備由硅半導體晶片構成的底座(基座)和上部電極、以及介于底座與上部電極之間并具有能夠以支點部為中心彎曲的自由端部的懸臂。

專利文獻1：日本特開2000-65856號公報

然而，在專利文獻1記載的加速度檢測裝置中，存在如下問題：由于加速度檢測部的外周全部被固定，所以當將加速度檢測裝置安裝在了印刷基板上時產生的由印刷基板與加速度檢測裝置的不同材料之間引起的熱膨脹系數差所導致的應力應變會經由裝置的容器傳遞到與容器剛性固定的物理量檢測元件。

發明內容

本發明是為了解決上述技術問題的至少一部分而做出的，可以作為以下的方面或應用例而實現。

(1)本發明的一方面涉及一種物理量傳感器，其包括：基部；可動部，與所述基部連接；第一臂部，連結于所述基部；第二臂部，連結于所述基部；以及物理量檢測元件，安裝于所述基部和所述可動部，檢測由在連接所述基部與所述可動部的方向上產生的應力引起的物理量，所述第一臂部配置于與連接所述基部和所述可動部的第一方向正交的第二方向上的一側的第一區域，并且在相比基部側更靠可動部側設置有固定區域，所述第二臂部配置于所述第二方向上的另一側的第二區域，并且在所述可動部側和所述基部側中的至少任一方的區域中設置有固定區域，在所述第一區域的位于所述基部側的第三區域和所述第二區域的位于所述基部側的第四區域中的至少一方中未配置有固定區域。

(2)在本發明的一方面(1)中，其特征在于，所述第二臂部的所述固定區域配置在所述基部側。

(3)在本發明的一方面(1)中，其特征在于，所述第二臂部的所述固定區域配置在所述可動部側。

(4)在本發明的一方面(3)中，其特征在于，包括連結于所述基部的第三臂部，所述第三臂部在所述第三區域和所述第四區域中的任一方中設有固定區域。

(5)在本發明的一方面(1)中，其特征在于，包括與所述基部連結的第三臂部，所述第三臂部在所述第一區域至所述第四區域中的未配置所述固定區域的至少一個區域中，在與安裝有所述物理量檢測元件的面相反一側的面設有突起。

(6)在本發明的一方面(1)中，其特征在于，在所述固定區域設有填充粘接劑的槽。

(7)在本發明的一方面(1)中，其特征在于，所述基部與所述可動部通過縮窄部而連接。

(8)一種物理量傳感器裝置，其特征在于，在本發明的一方面(1)中包括安裝有所述物理量傳感器的基臺，所述固定區域安裝于所述基臺。

(9)在本發明的一方面(8)中，其特征在于，包括電路基板，并且包括三個所述物理量傳感器，三個所述物理量傳感器以各自的檢測軸與正交的三軸各自一致的方式安裝于所述電路基板。

(10)在本發明的另一方面(8)或(9)中，其特征在于，所述物理量是加速度。