[發(fā)明專利]物理量傳感器、物理量傳感器裝置以及傾斜儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910173618.0
• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN110244082B
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佐藤健太
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097;G01P15/135;G01L1/10
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 潘樹志

1.一種物理量傳感器，其特征在于，包括：

基部；

可動部，與所述基部連接；

第一臂部，連結(jié)于所述基部；

第二臂部，連結(jié)于所述基部；以及

物理量檢測元件，安裝于所述基部和所述可動部，檢測由在連接所述基部與所述可動部的方向上產(chǎn)生的應(yīng)力引起的物理量，

所述第一臂部配置于與連接所述基部和所述可動部的第一方向正交的第二方向上的一側(cè)的第一區(qū)域，并且在所述第一區(qū)域的相比基部側(cè)更靠可動部側(cè)設(shè)置有固定區(qū)域，

所述第二臂部配置于所述第二方向上的另一側(cè)的第二區(qū)域，并且在所述第二區(qū)域的所述可動部側(cè)和所述基部側(cè)中的至少任一方的區(qū)域中設(shè)置有固定區(qū)域，

在所述第一區(qū)域的位于所述基部側(cè)的第三區(qū)域和所述第二區(qū)域的位于所述基部側(cè)的第四區(qū)域中的至少一方中未配置有固定區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第二臂部的所述固定區(qū)域配置在所述基部側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第二臂部的所述固定區(qū)域配置在所述可動部側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述物理量傳感器包括連結(jié)于所述基部的第三臂部，

所述第三臂部在所述第三區(qū)域和所述第四區(qū)域中的任一方中設(shè)有固定區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述物理量傳感器包括與所述基部連結(jié)的第三臂部，

所述第三臂部在所述第一區(qū)域至所述第四區(qū)域中的未配置所述固定區(qū)域的至少一個區(qū)域中，在與安裝有所述物理量檢測元件的面相反一側(cè)的面設(shè)有突起。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

在所述固定區(qū)域設(shè)有填充粘接劑的槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述基部與所述可動部通過縮窄部而連接。

8.一種物理量傳感器裝置，其特征在于，包括：

根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器；以及

安裝有所述物理量傳感器的基臺，

所述固定區(qū)域安裝于所述基臺。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的物理量傳感器裝置，其特征在于，

所述物理量傳感器裝置包括電路基板，并且包括三個所述物理量傳感器，

三個所述物理量傳感器以各自的檢測軸與正交的三軸各自一致的方式安裝于所述電路基板。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的物理量傳感器裝置，其特征在于，

所述物理量是加速度。

11.一種傾斜儀，其特征在于，包括：

根據(jù)權(quán)利要求10所述的物理量傳感器裝置；以及

計算部，根據(jù)來自安裝于結(jié)構(gòu)體的所述物理量傳感器裝置的輸出信號，計算所述結(jié)構(gòu)體的傾斜角度。

12.一種結(jié)構(gòu)物監(jiān)視裝置，其特征在于，包括：

根據(jù)權(quán)利要求10所述的物理量傳感器裝置；

接收部，接收來自安裝于結(jié)構(gòu)物的所述物理量傳感器裝置的檢測信號；以及

計算部，根據(jù)從所述接收部輸出的信號，計算所述結(jié)構(gòu)物的傾斜角度。