[發(fā)明專利]一種檢查低壓晶體管可靠性的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910173006.1
• 申請(qǐng)日: 2019-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN109902410B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹云;于明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): G06F30/367
• 分類號(hào): G06F30/367;G06F119/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅

本發(fā)明提供了一種檢查低壓晶體管可靠性的方法，至少一個(gè)低壓晶體管位于電路中，電路還包括至少一個(gè)高壓晶體管，高壓晶體管包括P型場(chǎng)效應(yīng)管和N型場(chǎng)效應(yīng)管，電路連接高壓電源和低壓電源，步驟一，直接確定每個(gè)低壓晶體管的柵極、源極、漏極和襯底是否連接至高壓電源，若是，則對(duì)該低壓晶體管進(jìn)行標(biāo)記；步驟二，將每個(gè)P型場(chǎng)效應(yīng)管的源極和漏極進(jìn)行短路后，確定每個(gè)低壓晶體管的柵極、源極、漏極和襯底是否連接至高壓電源，若是，則對(duì)該低壓晶體管進(jìn)行標(biāo)記；步驟三，將每個(gè)P型場(chǎng)效應(yīng)管的源極和漏極進(jìn)行短路，確定每個(gè)N型場(chǎng)效應(yīng)管的柵極是否連接高壓電源，且該N型場(chǎng)效應(yīng)管的源極是否連接一個(gè)低壓晶體管的漏極，若是，則對(duì)該低壓晶體管進(jìn)行標(biāo)記。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種檢查低壓晶體管可靠性的方法。

背景技術(shù)

在現(xiàn)代電路設(shè)計(jì)和應(yīng)用中，一般會(huì)引入兩種或者多種電壓電源，同理電路設(shè)計(jì)中就會(huì)用到兩種或者多種不同耐壓的晶體管。在實(shí)踐中，有可能電路中會(huì)出現(xiàn)低壓晶體管會(huì)看到高電壓的情況，這將引起低壓晶體管的工作可靠性問題，比如高溫使用壽命測(cè)試(HTOL)失效，晶體管易漏電等問題。因此，電路設(shè)計(jì)中出現(xiàn)低壓晶體管會(huì)看到高電壓的情況應(yīng)該需要盡量避免的。

在目前的檢查方法主要有兩種：一種是通過動(dòng)態(tài)的電路仿真，通過仿真器會(huì)報(bào)告出晶體管超出限壓閾值的情況，該方法優(yōu)點(diǎn)是全面真實(shí)有效，缺點(diǎn)是需要仿真模型支持和需要仿真時(shí)間。另外一種是通過靜態(tài)的剖析網(wǎng)表來(lái)報(bào)告低壓晶體管的違規(guī)現(xiàn)象。該方法的優(yōu)點(diǎn)是速度快，實(shí)施方便，缺點(diǎn)是易發(fā)生誤報(bào)現(xiàn)象，需要電路設(shè)計(jì)者針對(duì)報(bào)告的情況進(jìn)行復(fù)核，該檢查方法一般在Layout?Versus?Schematics(LVS)檢查過程中的Electrical?RuleChecking(ERC)檢查來(lái)實(shí)現(xiàn)，在靜態(tài)檢查過程中只分析高壓線源，而不穿通高壓晶體管可能會(huì)導(dǎo)致的錯(cuò)失報(bào)告的情況，也可在LAYOUT設(shè)計(jì)還未完成時(shí)，對(duì)電路網(wǎng)表進(jìn)行檢查，及時(shí)查找出潛在的設(shè)計(jì)風(fēng)險(xiǎn)，避免延遲設(shè)計(jì)Schedule。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種檢查低壓晶體管可靠性的方法，以解決現(xiàn)有的在靜態(tài)檢查過程中只分析高壓線源，而不穿通高壓晶體管導(dǎo)致的錯(cuò)失報(bào)告的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種檢查低壓晶體管可靠性的方法，至少一個(gè)所述低壓晶體管位于電路中，所述電路中還包括至少一個(gè)高壓晶體管，所述高壓晶體管包括P型場(chǎng)效應(yīng)管和N型場(chǎng)效應(yīng)管，所述電路連接高壓電源和低壓電源，所述檢查低壓晶體管可靠性的方法包括：

步驟一，直接確定每個(gè)所述低壓晶體管的柵極、源極、漏極和襯底是否連接至所述高壓電源，若是，則對(duì)該低壓晶體管進(jìn)行標(biāo)記；

步驟二，將每個(gè)所述P型場(chǎng)效應(yīng)管的源極和漏極短路后，確定每個(gè)所述低壓晶體管的柵極、源極、漏極和襯底是否連接至所述高壓電源，若是，則對(duì)該低壓晶體管進(jìn)行標(biāo)記；

步驟三，將每個(gè)所述P型場(chǎng)效應(yīng)管的源極和漏極短路，確定每個(gè)所述N型場(chǎng)效應(yīng)管的柵極是否連接所述高壓電源，且該N型場(chǎng)效應(yīng)管的源極是否連接一個(gè)所述低壓晶體管的漏極，若是，則對(duì)該低壓晶體管進(jìn)行標(biāo)記。

可選的，在所述的檢查低壓晶體管可靠性的方法中，所述高壓電源的電壓輸出值為3.6V～5V。

可選的，在所述的檢查低壓晶體管可靠性的方法中，所述低壓電源的電壓輸出值為1.2V～1.6V。

可選的，在所述的檢查低壓晶體管可靠性的方法中，將被標(biāo)記所述低壓晶體管替換為高壓晶體管。

可選的，在所述的檢查低壓晶體管可靠性的方法中，所述檢查低壓晶體管可靠性的方法還包括：

判斷所述電路的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)是否具有LAYOUT文件，若是，則將所述LAYOUT文件輸入至Calibre軟件。

可選的，在所述的檢查低壓晶體管可靠性的方法中，

將GDS2格式的文件輸入Calibre軟件后，加入代碼進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。