[發(fā)明專利]一種用于真空泵的前級(jí)管道、真空系統(tǒng)及半導(dǎo)體制造設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910173002.3
• 申請(qǐng)日: 2019-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN109869314A
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧穎豪;繆敏敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): F04C29/12
• 分類號(hào): F04C29/12;F04C25/02;F04C27/00;H01L21/67;C23C16/44
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭星

本發(fā)明公開了一種用于真空泵的前級(jí)管道、真空系統(tǒng)及半導(dǎo)體制造設(shè)備，所述前級(jí)管道包括：主管，豎直安裝；承接器，設(shè)置在所述主管的底部并具有一開口，所述開口與所述主管的底部密封連接；以及，支管，為一非直線型管道，且所述支管的一端與所述主管連接，另一端與真空泵連接；其中：一氣流用于依次通過所述主管和所述支管后進(jìn)入所述真空泵，同時(shí)所述承接器用于通過所述開口接收所述氣流在通過所述主管時(shí)掉落的物質(zhì)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，夾帶有大量粉塵雜物的氣流在前級(jí)管道中過濾除塵，隨后再進(jìn)入真空泵，減少進(jìn)入泵體的粉塵，降低卡泵現(xiàn)象出現(xiàn)的可能性，提高真空泵的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間，增加產(chǎn)能，降低經(jīng)濟(jì)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空管道技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于真空泵的前級(jí)管道、真空系統(tǒng)和半導(dǎo)體制造設(shè)備。

背景技術(shù)

干式真空泵因其不使用諸如油、水或聚合物等流體作為工作介質(zhì)，避免了反流的發(fā)生，而得以在多個(gè)方面得到廣泛的應(yīng)用。近年來，干式真空泵得到了高速的發(fā)展，其主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)和薄膜產(chǎn)業(yè)。目前，半導(dǎo)體行業(yè)已大量采用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，這較大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。

然而，在利用干式真空泵產(chǎn)生真空環(huán)境時(shí)，如果抽取的氣體中夾帶粉塵等雜物，雜物隨氣流一起進(jìn)入到泵體內(nèi)而極易造成卡泵，從而致使真空短期失效并出現(xiàn)真空反灌的情況。長(zhǎng)此以往，不僅嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率，降低機(jī)臺(tái)的運(yùn)行時(shí)間，還因頻繁更換腔體部件、多次檢修，而造成經(jīng)濟(jì)成本的大幅增加。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于真空泵的前級(jí)管道、真空系統(tǒng)及半導(dǎo)體制造設(shè)備，其能夠有效阻止氣流中的粉塵等雜質(zhì)進(jìn)入泵體內(nèi)，減少卡泵現(xiàn)象的發(fā)生，提高生產(chǎn)效率，降低經(jīng)濟(jì)成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的一種用于真空泵的前級(jí)管道，包括：

主管，豎直安裝；

承接器，設(shè)置在所述主管的底部并具有一開口，所述開口與所述主管的底部密封連接；以及，

支管，為一非直線型管道，且所述支管的一端與所述主管連接，另一端與真空泵連接；其中：

一氣流用于依次通過所述主管和所述支管后進(jìn)入所述真空泵，同時(shí)所述承接器用于通過所述開口接收所述氣流在通過所述主管時(shí)掉落的物質(zhì)。

可選地，所述主管為一直線型管道。

可選地，所述承接器具有一內(nèi)腔，所述內(nèi)腔的底部設(shè)置在所述真空泵的進(jìn)口以下位置。

可選地，所述內(nèi)腔的深度不小于30cm。

可選地，所述前級(jí)管道呈“n”型。

可選地，所述支管包括依次連接的第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道、第二管道和第三管道均為直線型管道，且所述第一管道與所述主管連接并傾斜向上設(shè)置，所述第二管道水平布置，所述第三管道豎直布置，所述第三管道與所述真空泵連接。

可選地，所述主管與所述承接器之間設(shè)置有閥門，且所述支管與所述主管的連接點(diǎn)位于所述閥門的上方，所述閥門用于控制所述主管與所述承接器之間的通斷。

所述主管與所述承接器之間設(shè)置有閥門，所述閥門用于控制所述主管與所述承接器之間的通道。

可選地，所述支管與所述主管的連接點(diǎn)位于所述閥門的上方。

可選地，所述前級(jí)管道還包括一密封蓋，所述承接器具有相對(duì)的上端和下端，所述上端具有所述開口，同時(shí)所述下端也為敞口狀并與所述密封蓋可拆卸地連接。

可選地，所述密封蓋為一法蘭。

可選地，所述承接器具有相對(duì)的上端和下端，所述上端具有所述開口，同時(shí)所述下端封閉，且所述上端與所述主管可拆卸地連接。