[發(fā)明專利]框架一體型掩模的制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910170860.2
• 申請(qǐng)日: 2019-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN110241382A
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李炳一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: TGO科技株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

本發(fā)明涉及一種框架一體型掩模的制造方法。本發(fā)明涉及框架一體型掩模的制造方法，該框架一體型掩模由至少一個(gè)掩模(100)與用于支撐掩模(100)的框架(200)形成為一體，其包括以下步驟：(a)提供具有至少一個(gè)掩模單元區(qū)域(CR)的框架(200)；(b)使掩模(100)與框架(200)的掩模單元區(qū)域(CR)對(duì)應(yīng)；(c)將包括框架(200)的工藝區(qū)域的溫度提升至第一溫度(ET)；(d)將掩模(100)的邊緣的至少一部分粘合到框架(200)；以及(e)將包括框架(200)的工藝區(qū)域的溫度降低至第二溫度(LT)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種框架一體型掩模的制造方法。更加詳細(xì)而言，涉及能夠?qū)⒀谀Ｅc框架形成一體，并且能夠使各個(gè)掩模之間的對(duì)準(zhǔn)(align)精確的框架一體型掩模的制造方法。

背景技術(shù)

最近，正在進(jìn)行薄板制造中的有關(guān)電鑄(Electroforming)方法的研究。電鑄方法是在電解液中浸漬陽(yáng)極和陰極，并施加電源，使金屬薄板在陰極的表面上電沉積，因而是能夠制造電極薄板并且有望大量生產(chǎn)的方法。

另一方面，作為OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)制造工藝中形成像素的技術(shù)，主要使用FMM(Fine Metal Mask，精細(xì)金屬掩模)方法，該方法將薄膜形式的金屬掩模(Shadow Mask，陰影掩模)緊貼于基板并且在所需位置上沉積有機(jī)物。

在現(xiàn)有的OLED制造工藝中，將掩模制造成條狀、板狀等后，將掩模焊接固定到OLED像素沉積框架并使用。一個(gè)掩模上可以具備與一個(gè)顯示器對(duì)應(yīng)的多個(gè)單元。另外，為了制造大面積OLED，可將多個(gè)掩模固定于OLED像素沉積框架，在固定于框架的過程中，拉伸各個(gè)掩模，以使其變得平坦。調(diào)節(jié)拉伸力以使掩模的整體部分變得平坦是非常困難的作業(yè)。特別是，為了使各個(gè)單元全部變得平坦，同時(shí)對(duì)準(zhǔn)尺寸僅為數(shù)μm至數(shù)十μm的掩模圖案，需要微調(diào)施加到掩模各側(cè)的拉伸力并且實(shí)時(shí)確認(rèn)對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)的高度作業(yè)要求。

盡管如此，在將多個(gè)掩模固定于一個(gè)框架過程中，仍然存在掩模之間以及掩模單元之間對(duì)準(zhǔn)不好的問題。另外，在將掩模焊接固定于框架的過程中，掩模膜的厚度過薄且面積大，因此存在掩模因荷重而下垂或者扭曲的問題。

在超高清的OLED中，現(xiàn)有的QHD(Quarter High Definition，四分之一高清)畫質(zhì)為500-600PPI(pixel per inch，每英寸像素)，像素的尺寸達(dá)到約30-50μm，而4K UHD(Ultra High Definition，超高清)、8K UHD高清具有比之更高的～860PPI，～1600PPI等的分辨率。如此，考慮到超高清的OLED的像素尺寸，需要將各單元之間的對(duì)準(zhǔn)誤差縮減為數(shù)μm程度，超出這一誤差將導(dǎo)致產(chǎn)品的不良，所以收率可能極低。因此，需要開發(fā)能夠防止掩模的下垂或者扭曲等變形并且使對(duì)準(zhǔn)精確的技術(shù)，以及將掩模固定于框架的技術(shù)等。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題

因此，本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題而提出的，其目的在于，提供一種框架一體型掩模的制造方法，能夠形成掩模與框架的一體式結(jié)構(gòu)。

另外，本發(fā)明的目的在于，提供一種框架一體型掩模的制造方法，能夠防止掩模下垂或者扭曲等變形并且使對(duì)準(zhǔn)精確。

另外，本發(fā)明的目的在于，提供一種框架一體型掩模的制造方法，顯著縮短制造時(shí)間，并且顯著提升收率。

技術(shù)方案

本發(fā)明的上述目的通過一種框架一體型掩模的制造方法達(dá)成，該方法將至少一個(gè)掩模與用于支撐掩模的框架形成一體，其包括以下步驟：(a)提供具有至少一個(gè)掩模單元區(qū)域的框架；(b)使掩模與框架的掩模單元區(qū)域?qū)?yīng)；(c)將包括框架的工藝區(qū)域的溫度提升至第一溫度；(d)將掩模的邊緣的至少一部分粘合到框架；以及(e)將包括框架的工藝區(qū)域的溫度降低至第二溫度。