[發明專利]雙柵薄膜晶體管、傳感器及制作方法

有效

• 申請號: 201910169239.4
• 申請日: 2019-03-06
• 公開（公告）號: CN109764983B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 曾勇;陳周煜;林濱;付婉霞;樂發墊;霍亞洲;王洋
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;福州京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01L9/08;H01L29/786;H01L21/336
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

本發明公開了一種雙柵薄膜晶體管、傳感器及制作方法，涉及電子傳感技術領域。本發明的主要技術方案為：一種雙柵薄膜晶體管，其包括：應力傳感層，所述應力傳感層設置于底柵極和頂柵極之間，且所述應力傳感層與所述底柵極和所述頂柵極之間均設有底柵極絕緣層；其中，對所述底柵極施加第一預設電壓，對所述頂柵極施加第二預設電壓，所述第一預設電壓大于所述第二預設電壓，在所述應力傳感層形成內建電場降低所述底柵極和所述頂柵極之間的有效柵極電壓，則源漏電流與外部壓力成反比；或所述第一預設電壓小于所述第二預設電壓，在所述應力傳感層形成內建電場增強所述底柵極和所述頂柵極之間的有效柵極電壓，則源漏電流與外部壓力成正比。

技術領域

本發明涉及電子傳感技術領域，尤其涉及一種雙柵薄膜晶體管、傳感器及制作方法。

背景技術

傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息按一定規律變換成為電信號或其它所需形式的信息輸出，以滿足信息的輸出、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求；21世紀以來，傳感器在智能醫療中的應用愈發廣泛，傳感器和人體健康的聯系就是檢測人體機械能的釋放，例如：呼吸、心跳、血液流動和肺部的擴張/收縮等，將機械能有效地轉換為電信號；探測機械能的技術包括壓電效應、摩擦帶電效應、磁致伸縮效應和電磁感應效應等，其中，壓電效應能夠有效地運用于納米級別的微觀領域，如納米發電機。

壓電效應是指壓電材料能夠有效地將機械能轉化為電能的現象；現有的大部分壓電傳感器多采用壓電材料組成的薄膜，為了有效的放大壓力傳感的電信號提高靈敏度，則需要大面積的鋪設薄膜，薄膜內穿設大量的電路走線，嚴重影響傳感器小整體的集成度和輕薄度。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供一種雙柵薄膜晶體管、傳感器及制作方法，主要目的是解決現有的大部分壓力傳感器多采用壓電材料組成的薄膜，為了有效的放大壓力傳感的電信號提高靈敏度，則需要大面積的鋪設薄膜，薄膜內穿設大量的電路走線，嚴重影響傳感器小整體的集成度和輕薄度的問題。

為達到上述目的，本發明主要提供如下技術方案：

一方面，本發明實施例提供了一種雙柵薄膜晶體管，其包括：

應力傳感層，所述應力傳感層設置于底柵極和頂柵極之間，且所述應力傳感層與所述底柵極和所述頂柵極之間均設有底柵極絕緣層；

其中，對所述底柵極施加第一預設電壓，對所述頂柵極施加第二預設電壓，所述第一預設電壓大于所述第二預設電壓，在所述應力傳感內層形成內建電場降低所述底柵極和所述頂柵極之間的有效柵極電壓，則源漏電流與外部壓力成反比；

或所述第一預設電壓小于所述第二預設電壓，在所述應力傳感層形成內建電場增強所述底柵極和所述頂柵極之間的有效柵極電壓，則源漏電流與外部壓力成正比。

本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現；

可選的，前述的一種雙柵薄膜晶體管，所述應力傳感層為壓電材料；

可選的，前述的一種雙柵薄膜晶體管，所述應力傳感層位于所述底柵極的正投影上方。

可選的，前述的一種雙柵薄膜晶體管，所述應力傳感層的正投影覆蓋所述底柵極。

可選的，前述的一種雙柵薄膜晶體管，所述應力傳感層包括多個應力傳感單元；

所述應力傳感單元包括壓電材料、底柵極絕緣層，所述壓電材料的上下兩端分別設置所述底柵極絕緣層；

其中，所述多個應力傳感單元層疊設置。

可選的，前述的一種雙柵薄膜晶體管，還包括襯底、有源層、源/漏電極以及頂柵極絕緣層；

所述襯底設置在所述底柵極下方；