[發明專利]一種觀察透明晶片指定區域微觀形貌的快速定位方法在審
| 申請號： | 201910168455.7 | 申請日： | 2019-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN109799242A | 公開（公告）日： | 2019-05-24 |
| 發明（設計）人： | 楊丹丹;李暉;張弛;高飛;孫雪蓮;程紅娟;郝建民;賴占平;李寶珠 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/958;G01N21/84 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司 12105 | 代理人： | 王鳳英 |
| 地址： | 300220*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 透明晶片 微觀形貌 快速定位 觀察 顯微鏡 方格 顯微鏡觀察 定位坐標 方格邊長 非標產品 觀察區域 幾何坐標 精準定位 區域設定 填寫位置 位置通過 樣品表面 橫線 承載物 打印紙 刻錄 豎線 研發 沾污 定型 工作量 損傷 加工 科研 研究 | ||
【權利要求書】：
1.一種觀察透明晶片指定區域微觀形貌的快速定位方法，其特征在于，該方法包括兩種情況，第一種情況：對已知微觀形貌的透明晶片特定區域進行定位，并對該位置進行其他研究；第二種情況：已知定位坐標，觀察透明晶片指定區域微觀形貌；
第一種情況有以下步驟：
步驟一，根據被測樣品區域大小選取適合的坐標物；
步驟二，制作坐標物；
步驟三，將樣品放置在坐標物上；
步驟四，將承載樣品的坐標物放置在顯微鏡載物臺上；
步驟五，顯微鏡下觀察被測區域；
步驟六，確定被測區域對應坐標物上的位置，并記錄位置編碼；
步驟七，根據位置編碼計算微觀觀察區域定位坐標；
步驟八，選擇其它性能測試儀器對該坐標進行測試表征；
第二種情況有以下步驟：
步驟一，根據被測樣品區域大小選取適合的坐標物；
步驟二，制作坐標物；
步驟三，將樣品放置在坐標物上；
步驟四，將承載樣品的坐標物放置在顯微鏡載物臺上；
步驟五，根據定位坐標確定被測區域對應坐標物上的位置編碼；
步驟六，顯微鏡下按已確認的位置編碼定位觀察被測區域；
步驟七，采集微觀形貌圖片信息；
所述的坐標物是由橫線a、豎線b交叉構成的方格，在方格里填寫位置編碼d，方格邊長為c，方格邊長c尺寸根據所需觀察區域或顯微鏡觀察區域設定；
所述的坐標物材質采用打印紙或采用能夠定型加工、刻錄標識的其它材料制作的承載物。
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