[發(fā)明專利]一種觀察透明晶片指定區(qū)域微觀形貌的快速定位方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910168455.7
• 申請(qǐng)日: 2019-03-06
• 公開（公告）號(hào): CN109799242A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊丹丹;李暉;張弛;高飛;孫雪蓮;程紅娟;郝建民;賴占平;李寶珠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01N21/95;G01N21/958;G01N21/84
• 代理公司: 天津中環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 12105
• 代理人: 王鳳英

本發(fā)明公開了一種觀察透明晶片指定區(qū)域微觀形貌的快速定位方法。該方法分兩種：1、對(duì)已知微觀形貌的透明晶片特定區(qū)域進(jìn)行定位，并對(duì)該位置進(jìn)行其他研究；2、已知定位坐標(biāo)，觀察透明晶片指定區(qū)域微觀形貌。該方法所設(shè)計(jì)的坐標(biāo)物是由橫線、豎線交叉構(gòu)成的方格，在方格里填寫位置編碼，方格邊長(zhǎng)尺寸根據(jù)所需觀察區(qū)域或顯微鏡觀察區(qū)域設(shè)定；坐標(biāo)物材質(zhì)采用打印紙或采用能夠定型加工、刻錄標(biāo)識(shí)的其它材料制作的承載物。該方法具有通用性，新研發(fā)的坐標(biāo)物可在顯微鏡下使用，顯微鏡下觀察的位置通過坐標(biāo)物計(jì)算出幾何坐標(biāo)來實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位，減少了工作時(shí)間和不必要的工作量，避免了在樣品表面標(biāo)記帶來?yè)p傷和沾污，對(duì)于科研的非標(biāo)產(chǎn)品更具顯著的實(shí)用性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料檢測(cè)分析領(lǐng)域，尤其是涉及一種觀察透明晶片指定區(qū)域微觀形貌的快速定位方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，半導(dǎo)體晶片無論是襯底還是外延層在產(chǎn)品交付前或是用戶使用前或者科研研究過程中均離不開顯微鏡檢測(cè)表征。顯微鏡下觀察晶片表面狀態(tài)，檢驗(yàn)晶片的表面潔凈度、損傷情況以及微觀缺陷等等。通常情況下的商業(yè)顯微鏡樣品承載平臺(tái)自帶的機(jī)械移動(dòng)裝置均有與標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品最大尺寸匹配的限位功能(X軸移動(dòng)最大距離，Y軸移動(dòng)的最大距離)，且移動(dòng)最小精度均在毫米量級(jí)。但對(duì)于處于科研狀態(tài)的產(chǎn)品均為不規(guī)則形狀產(chǎn)品，很難通過已購(gòu)買的商用標(biāo)準(zhǔn)化顯微鏡實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)的定位去觀察樣品指定區(qū)域的微觀形貌。

發(fā)明內(nèi)容

隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)不斷發(fā)展，顯微鏡的使用是每個(gè)科學(xué)工作者基礎(chǔ)工作的一部分，坐標(biāo)物是一種很常見坐標(biāo)工具，但是可以顯微鏡下使用且具有坐標(biāo)功能的是沒有標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的，但卻又是不可或缺的。采用常用Auto CAD、Pro E、Office等常用作圖軟件、辦公軟件繪制出滿足科研人員自己所需的坐標(biāo)紙是非常必要且有意義的。因此，本發(fā)明的目的是提供一種觀察透明晶片指定區(qū)域微觀形貌的快速定位方法，尤其研發(fā)了一種具有可顯微鏡下使用的帶有坐標(biāo)的坐標(biāo)物以實(shí)現(xiàn)該方法。

本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采取的技術(shù)方案是：該方法包括兩種情況，第一種情況：對(duì)已知微觀形貌的透明晶片特定區(qū)域進(jìn)行定位，并對(duì)該位置進(jìn)行其他研究；第二種情況：已知定位坐標(biāo)，觀察透明晶片指定區(qū)域微觀形貌；

第一種情況有以下步驟：

步驟一，根據(jù)被測(cè)樣品區(qū)域大小選取適合的坐標(biāo)物。

步驟二，制作坐標(biāo)物。

步驟三，將樣品放置在坐標(biāo)物上。

步驟四，將承載樣品的坐標(biāo)物放置在顯微鏡載物臺(tái)上。

步驟五，顯微鏡下觀察被測(cè)區(qū)域。

步驟六，確定被測(cè)區(qū)域?qū)?yīng)坐標(biāo)物上的位置，并記錄位置編碼。

步驟七，根據(jù)位置編碼計(jì)算微觀觀察區(qū)域定位坐標(biāo)。

步驟八，選擇其它性能測(cè)試儀器對(duì)該坐標(biāo)進(jìn)行測(cè)試表征。

第二種情況有以下步驟：

步驟一，根據(jù)被測(cè)樣品區(qū)域大小選取適合的坐標(biāo)物。

步驟二，制作坐標(biāo)物。

步驟三，將樣品放置在坐標(biāo)物上。

步驟四，將承載樣品的坐標(biāo)物放置在顯微鏡載物臺(tái)上。

步驟五，根據(jù)定位坐標(biāo)確定被測(cè)區(qū)域?qū)?yīng)坐標(biāo)物上的位置編碼。

步驟六，顯微鏡下按已確認(rèn)的位置編碼定位觀察被測(cè)區(qū)域。

步驟七，采集微觀形貌圖片信息。

本發(fā)明所述的坐標(biāo)物是由橫線a、豎線b交叉構(gòu)成的方格，在方格里填寫位置編碼d，方格邊長(zhǎng)為c，方格邊長(zhǎng)c尺寸根據(jù)所需觀察區(qū)域或顯微鏡觀察區(qū)域設(shè)定。