[發(fā)明專利]晶圓多工位邊緣拋光設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910161384.8
• 申請日: 2019-03-04
• 公開（公告）號: CN109848826A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設計）人: 潘雪明;李鑫;蘇靜洪
• 申請（專利權）人: 天通日進精密技術有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20
• 代理公司: 上海巔石知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31309
• 代理人: 張明;王再朝

1.一種晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，包括：

機座，具有晶圓作業(yè)平臺；

一個或多個晶圓凹口拋光裝置，設置于所述晶圓作業(yè)平臺上，用于對晶圓的凹口進行凹口拋光；

一個或多個晶圓邊緣拋光裝置，設置于所述晶圓作業(yè)平臺上，用于對晶圓的邊緣進行邊緣拋光；

晶圓轉(zhuǎn)移裝置，設置于所述晶圓作業(yè)平臺上，用于轉(zhuǎn)移晶圓。

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，包括至少一晶圓凹口拋光裝置，所述晶圓凹口拋光裝置包括：

晶圓承載臺，用于承載晶圓，所述晶圓具有作定位的凹口；

晶圓凹口拋光機構，包括：拋光滾輪；滾輪旋轉(zhuǎn)電機，用于驅(qū)動所述拋光滾輪旋轉(zhuǎn)；

滾輪移位機構，用于驅(qū)動拋光滾輪移位至對應所述晶圓承載臺上的晶圓的凹口以令所述拋光滾輪針對所述晶圓的凹口進行凹口拋光。

3.根據(jù)權利要求1所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，包括晶圓凹口粗拋光裝置和晶圓凹口精拋光裝置；

所述晶圓凹口粗拋光裝置包括：

晶圓承載臺，用于承載晶圓，所述晶圓具有作定位的凹口；

晶圓凹口粗拋光機構，包括：粗拋光滾輪，具有第一粗糙度；滾輪旋轉(zhuǎn)電機，用于驅(qū)動所述粗拋光滾輪旋轉(zhuǎn)；滾輪移位機構，用于驅(qū)動粗拋光滾輪移位至對應所述晶圓承載臺上的晶圓的凹口以令所述粗拋光滾輪針對所述晶圓的凹口進行凹口粗拋光；

所述晶圓凹口精拋光裝置包括：

晶圓承載臺，用于承載晶圓，所述晶圓具有作定位的凹口；

晶圓凹口精拋光機構，包括：精拋光滾輪，具有第二粗糙度，所述第二粗糙度要小于所述第一粗糙度；滾輪旋轉(zhuǎn)電機，用于驅(qū)動所述精拋光滾輪旋轉(zhuǎn)；滾輪移位機構，用于驅(qū)動精拋光滾輪移位至對應所述晶圓承載臺上的晶圓的凹口以令所述精拋光滾輪針對所述晶圓的凹口進行凹口精拋光。

4.根據(jù)權利要求2或3所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，所述晶圓承載臺的頂部設有吸附單元。

5.根據(jù)權利要求2或3所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，還包括承載臺旋轉(zhuǎn)電機，用于驅(qū)動所述晶圓承載臺旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權利要求2或3所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，在所述晶圓承載臺上還可有晶圓限位結構。

7.根據(jù)權利要求2或3所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，所述滾輪移位機構為三維移位機構，包括進退移位機構、擺動移位機構、以及升降移位機構。

8.根據(jù)權利要求1所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，包括至少一晶圓邊緣拋光裝置，所述晶圓邊緣拋光裝置包括：

晶圓承載臺，用于承載晶圓；

晶圓邊緣拋光機構，包括：拋光轉(zhuǎn)盤；均勻設置的多個邊緣拋光組件，每一個邊緣拋光組件包括軸接于所述拋光轉(zhuǎn)盤邊緣的翻轉(zhuǎn)主體、設于所述翻轉(zhuǎn)主體底部的邊緣拋光件、以及設于所述翻轉(zhuǎn)主體頂部的頁片；轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)電機，用于驅(qū)動所述拋光轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)；轉(zhuǎn)盤移位機構，用于驅(qū)動所述拋光轉(zhuǎn)盤移位至對應所述晶圓承載臺的邊緣拋光位置；

其中，在所述拋光轉(zhuǎn)盤被所述轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動以第一轉(zhuǎn)向旋轉(zhuǎn)時，由所述頁片帶動所述的翻轉(zhuǎn)主體及邊緣拋光件相對所述拋光轉(zhuǎn)盤朝外翻轉(zhuǎn)；在所述拋光轉(zhuǎn)盤被所述轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動以第二轉(zhuǎn)向旋轉(zhuǎn)時，由所述頁片帶動所述的翻轉(zhuǎn)主體及邊緣拋光件相對所述拋光轉(zhuǎn)盤朝內(nèi)翻轉(zhuǎn)以令所述邊緣拋光件針對晶圓進行邊緣拋光。

9.根據(jù)權利要求8所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，所述邊緣拋光組件包括外圓邊緣拋光組件、上口邊緣拋光組件、以及下口邊緣拋光組件所組群組中的任一種。

10.根據(jù)權利要求9所述的晶圓多工位邊緣拋光設備，其特征在于，所述邊緣拋光組件包括外圓邊緣拋光組件、上口邊緣拋光組件、或下口邊緣拋光組件。