[發(fā)明專利]固體攝像裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910159688.0
• 申請日: 2019-03-04
• 公開（公告）號: CN110828491A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 板橋康
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東芝;東芝電子元件及存儲裝置株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

實(shí)施方式提供一種能夠減小分光特性的波動的固體攝像裝置。實(shí)施方式的固體攝像裝置具備：基板；像素，設(shè)置在上述基板的表面；第1布線層，設(shè)置在上述基板之上，具有與上述像素對置的第1開口；第2布線層，設(shè)置在上述第1布線層之上，具有與上述第1開口對置的第2開口；以及絕緣膜，將上述像素、上述第1布線層及上述第2布線層覆蓋，具有設(shè)置在與上述第2開口對置的區(qū)域的多個(gè)凹部。上述第2開口的邊緣與上述第1開口的邊緣相比向遠(yuǎn)離上述第1開口的中心的方向后退。上述凹部具有圓形狀的開口和有曲率的凹面，配置在比上述第2開口的上述邊緣靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域。

本申請基于日本專利申請2018－152303號(申請日：2018年8月13日)主張優(yōu)先權(quán)，這里引用其全部內(nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)施方式主要涉及固體攝像裝置。

背景技術(shù)

在固體攝像裝置中，已知由于向光電轉(zhuǎn)換元件(像素)直接入射的光與由保護(hù)膜反射的光的干涉，而在分光特性中發(fā)生波動的現(xiàn)象。該波動成為產(chǎn)生圖像的不均勻的原因。此外，做出了通過在保護(hù)膜上形成凹陷來減少波動的提案。

發(fā)明內(nèi)容

實(shí)施方式提供一種能夠減少分光特性中的波動的固體攝像裝置。

技術(shù)方案的固體攝像裝置具備：基板；像素，設(shè)置在上述基板的表面；第1布線層，設(shè)置在上述基板之上，具有與上述像素對置的第1開口；第2布線層，設(shè)置在上述第1布線層之上，具有與上述第1開口對置的第2開口；以及絕緣膜，將上述像素、上述第1布線層及上述第2布線層覆蓋，具有設(shè)置在與上述第2開口對置的區(qū)域的多個(gè)凹部。上述第2開口的邊緣與上述第1開口的邊緣相比向遠(yuǎn)離上述第1開口的中心的方向后退。上述凹部具有圓形狀的開口和有曲率的凹面，配置在比上述第2開口的上述邊緣靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域。

附圖說明

圖1是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意剖視圖。

圖2是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意平面圖。

圖3是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意平面圖。

圖4是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意剖視圖。

圖5是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意平面圖。

圖6是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意剖視圖。

圖7是實(shí)施方式的固體攝像裝置的示意平面圖。

圖8是表示實(shí)施方式的固體攝像裝置的凹部的形成方法的示意平面圖。

圖9是表示分光特性的波動量與凹部的面積的關(guān)系的曲線圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在各圖中，對于相同的要素賦予相同的標(biāo)號。

圖1是第1實(shí)施方式的固體攝像裝置1的示意剖視圖。

圖2是第1實(shí)施方式的固體攝像裝置1的示意平面圖。

圖3是在圖2中將絕緣膜50去除的示意平面圖。

固體攝像裝置1具有基板10、設(shè)置在基板10的表面的像素11、電荷轉(zhuǎn)送晶體管20、第1布線層30、第2布線層40和絕緣膜50。

設(shè)與基板10的表面平行且相互正交的兩方向?yàn)閄方向及Y方向。設(shè)與X方向及Y方向正交的方向?yàn)閆方向。圖1是沿著圖2的X方向的剖視圖。

像素11包括光電轉(zhuǎn)換部。基板10例如是硅基板。像素11例如包含N型硅與P型硅的PN結(jié)。固體攝像裝置1例如是線性傳感器，如圖3所示，多個(gè)像素11具有在Y方向上排列的像素列。