[發明專利]固體攝像裝置

在審

• 申請號: 201910159688.0
• 申請日: 2019-03-04
• 公開（公告）號: CN110828491A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 板橋康
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝;東芝電子元件及存儲裝置株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

1.一種固體攝像裝置，

具備：

基板；

像素，設置在上述基板的表面；

第1布線層，設置在上述基板之上，具有與上述像素對置的第1開口；

第2布線層，設置在上述第1布線層之上，具有與上述第1開口對置的第2開口；以及

絕緣膜，將上述像素、上述第1布線層及上述第2布線層覆蓋，具有設置在與上述第2開口對置的區域的多個凹部，

上述第2開口的邊緣與上述第1開口的邊緣相比向遠離上述第1開口的中心的方向后退，

上述凹部具有圓形狀的開口和有曲率的凹面，配置在比上述第2開口的上述邊緣靠內側的區域。

2.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

上述凹部的上述開口具有與其他凹部的開口重疊的區域。

3.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

還具備設置在上述第2開口的上述邊緣的附近的上述第2布線層與上述第1布線層之間的多個導通孔。

4.如權利要求3所述的固體攝像裝置，

上述導通孔是金屬部件。

5.如權利要求3所述的固體攝像裝置，

多個上述像素沿第1方向排列，

上述多個導通孔沿上述第1方向排列。

6.如權利要求5所述的固體攝像裝置，

以將上述像素的上方區域在與上述第1方向交叉的第2方向上夾著的方式配置上述多個導通孔。

7.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

多個上述像素沿第1方向排列，

上述第2開口的上述邊緣與上述第1開口的上述邊緣相比沿著與上述第1方向交叉的第2方向后退。

8.如權利要求7所述的固體攝像裝置，

上述第1布線層也設置于在上述第1方向上相鄰的上述像素間。

9.如權利要求8所述的固體攝像裝置，

多個上述第1開口沿上述第1方向排列。

10.如權利要求9所述的固體攝像裝置，

上述第2開口沿上述第1方向以狹縫狀延伸。

11.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

上述第1開口的上述邊緣位于與上述像素重疊的區域中。

12.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

是具有多個上述像素沿第1方向排列而成的像素列的線性傳感器。

13.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

還具備設置在上述基板的表面中的與上述像素接近的區域中的擴散層，

上述第1布線層與上述擴散層連接。

14.如權利要求1所述的固體攝像裝置，

上述第1布線層及上述第2布線層含有鋁。