[發明專利]固體攝像裝置

在審

• 申請號: 201910159550.0
• 申請日: 2019-03-04
• 公開（公告）號: CN110911426A
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 那須勇人;板橋康
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝;東芝電子元件及存儲裝置株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 楊謙

1.一種固體攝像裝置，其中，具備：

襯底；

像素，設置在所述襯底的表面；

多個布線層，設置在所述襯底之上，包括第一布線層和設置在所述第一布線層之上的第二布線層；

絕緣層，設置在所述多個布線層之間；

阻擋金屬膜，設置在所述第一布線層的表面，并且，未設置在所述第二布線層的表面；以及

多個插塞，設置在所述第一布線層和所述第二布線層之間，將所述第一布線層和所述第二布線層連接，

所述多個插塞沿著所述第二布線層的長度方向以200μm以下的間隔進行配置。

2.根據權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述布線層包括設置在所述第二布線層之上的第三布線層，

在所述第三布線層的表面不設置所述阻擋金屬膜，

所述多個插塞還以200μm以下的間隔設置在所述第二布線層和所述第三布線層之間，將所述第二布線層和所述第三布線層連接。

3.根據權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，所述布線層包含鋁。

4.根據權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，所述阻擋金屬膜包含鈦。

5.根據權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，所述阻擋金屬膜包含鉭。

6.根據權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，所述插塞包含鎢。

7.根據權利要求1所述的固體攝像裝置，其中，所述絕緣層包含氫。

8.一種固體攝像裝置，其中，具備：

襯底；

像素，設置在所述襯底的表面；

至少一層的布線層，設置在所述襯底之上，在表面未設置有阻擋金屬膜；

多個金屬層，設置在所述布線層之下；

絕緣層，設置在所述布線層和所述多個金屬層之間；以及

多個插塞，設置在所述布線層和所述多個金屬層之間，將所述布線層和所述多個金屬層連接，

所述多個金屬層在所述絕緣層中設置為島狀。

9.根據權利要求8所述的固體攝像裝置，其中，所述多個插塞沿著所述布線層的長度方向以200μm以下的間隔進行配置。

10.根據權利要求8所述的固體攝像裝置，其中，所述布線層包含鋁。

11.根據權利要求8所述的固體攝像裝置，其中，所述插塞包含鎢。

12.根據權利要求8所述的固體攝像裝置，其中，所述絕緣層包含氫。