[發(fā)明專利]靶材的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910156411.2
• 申請(qǐng)日: 2019-03-01
• 公開（公告）號(hào): CN111636052A
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;馬國(guó)成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C22C27/06;B22F3/15
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

1.一種靶材的制備方法，其特征在于，包括：

提供鉻粉、鉭粉和鈦粉的混合粉；

將所述混合粉放入包套中進(jìn)行裝模；

將裝模后的所述混合粉進(jìn)行熱等靜壓工藝。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，提供鉻粉、鉭粉和鈦粉的混合粉之前，還包括：提供V型混粉機(jī)，將所述鉻粉、鉭粉和鈦粉放入所述V型混粉機(jī)進(jìn)行混粉工藝。

3.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混合粉中，鉻元素原子百分比為54.5％-55.5％，鉭元素原子百分比為19.5％-20.5％，鈦元素原子百分比為24.5％-25.5％。

4.如權(quán)利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述混粉工藝中，通入惰性氣體進(jìn)行保護(hù)，壓強(qiáng)為0.02Mpa-0.06Mpa，混粉速度為6r/min-15r/min，混粉時(shí)間為20h-25h。

5.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述包套為不銹鋼或碳鋼包套。

6.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，將所述混合粉放入包套中進(jìn)行裝模后，還包括：將所述包套內(nèi)部的所述混合粉夯實(shí)。

7.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混合粉進(jìn)行熱等靜壓工藝之前，還包括：將裝模后的所述混合粉進(jìn)行脫氣工藝。

8.如權(quán)利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述脫氣工藝溫度為300℃-600℃，保溫時(shí)間4h-8h，所述包套內(nèi)真空度達(dá)到5.0E-3Mpa后停止脫氣。

9.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓燒結(jié)工藝為冷態(tài)增壓燒結(jié)，包括：將脫氣后的所述混合粉進(jìn)行預(yù)燒結(jié)；

將預(yù)燒結(jié)后的所述混合粉進(jìn)行熱燒結(jié)工藝。

10.如權(quán)利要求9所述的制備方法，其特征在于，所述預(yù)燒結(jié)工藝為300℃-700℃，保溫時(shí)間為1h-2h。

11.如權(quán)利要求9所述的制備方法，其特征在于，所述熱燒結(jié)工藝溫度為800℃-1500℃，保溫時(shí)間為3h-6h。

12.如權(quán)利要求9所述的制備方法，其特征在于，所述熱燒結(jié)工藝中壓強(qiáng)為90Mpa-170Mpa。