[發明專利]使用噴墨打印的蝕刻設備有效
| 申請號: | 201910146747.0 | 申請日: | 2019-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN109935539B | 公開(公告)日: | 2021-08-27 |
| 發明(設計)人: | 李澎;汪夢琪 | 申請(專利權)人: | 安徽科創生產力促進中心有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H05K3/06 |
| 代理公司: | 南京匠橋專利代理有限公司 32568 | 代理人: | 王冰冰 |
| 地址: | 241000 安徽省蕪湖市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 使用 噴墨 打印 蝕刻 設備 | ||
1.使用噴墨打印的蝕刻設備,其結構包括蓋子(1)、外殼(2)、蝕刻裝置(3),所述的蓋子(1)設于外殼(2)上并與外殼(2)通過合頁活動連接,所述的蝕刻裝置(3)安裝在外殼(2)中,其特征在于:
所述的蝕刻裝置(3)由活動門板機構(301)、驅動機構(302)、升溫機構(303)、機械傳動機構(304)、平移機構(305)、排液機構(306)、活動門板控制機構(307)、電路板(308)、紙捆(309)、蝕刻臺(310)組成;
所述的活動門板機構(301)與活動門板控制機構(307)機械配合,所述的驅動機構(302)與機械傳動機構(304)機械配合,所述的機械傳動機構(304)與活動門板機構(301)機械連接,所述的活動門板機構(301)與平移機構(305)機械配合,所述的驅動機構(302)與活動門板控制機構(307)機械連接,所述的活動門板機構(301)與升溫機構(303)機械連接,所述的升溫機構(303)與排液機構(306)相通;
所述的活動門板機構(301)由第一固定板(3011)、第一彈簧(3012)、第二固定板(3013)、伸縮桿(3014)、L型固定桿(3015)、蝕刻頭(3016)、連接柱(3017)、門板(3018)、固定延伸塊(3019)組成,所述的第一固定板(3011)與第二固定板(3013)互相平行設立,所述的第一固定板(3011)與第二固定板(3013)之間通過伸縮桿(3014)機械連接,所述的第二固定板(3013)遠離伸縮桿(3014)的一端與第一彈簧(3012)連接,所述的門板(3018)設有兩個并且呈對稱結構設立,所述的兩個門板(3018)之間與連接柱(3017)機械連接,所述的連接柱(3017)底部與蝕刻頭(3016)機械焊接,所述的連接柱(3017)遠離蝕刻頭(3016)的一端與驅動機構(302)相連接,所述的第一固定板(3011)與活動門板控制機構(307)機械連接,在驅動機構(302)的作用下,連接柱(3017)帶動蝕刻頭(3016)向上運動,所述的連接柱(3017)上固定設有固定延伸塊(3019),所述的固定延伸塊(3019)底部設有L型固定桿(3015),所述的固定延伸塊(3019)與平移機構(305)活動連接;
所述的驅動機構(302)由電機(3021)、電機轉軸(3022)、齒狀邊(3023)、一號錐形輪(3024)、齒輪(3025)、L型驅動桿(3026)、連接線(3027)、固定輪(3028)組成,所述的電機(3021)與電機轉軸(3022)機械連接,所述的電機轉軸(3022)遠離電機(3021)的一端與一號錐形輪(3024)機械配合,所述的一號錐形輪(3024)安裝在齒輪(3025)中,所述的齒輪(3025)與齒狀邊(3023)相嚙合,所述的齒狀邊(3023)設于L型驅動桿(3026)上并與L型驅動桿(3026)呈一體結構設立,所述的L型驅動桿(3026)與活動門板控制機構(307)機械連接,所述的一號錐形輪(3024)與機械傳動機構(304)機械配合,所述的連接線(3027)與齒輪(3025)固定連接,另一端繞過固定輪(3028)與連接柱(3017)固定連接;
所述的升溫機構(303)由導溫內壁(3031)、固定座(3032)、加熱環(3033)、進液管(3034)組成,所述的導溫內壁(3031)固定安裝在固定座(3032)中,所述的加熱環(3033)設有三個以上并且均等分布在導溫內壁(3031)中,所述的進液管(3034)貫穿導溫內壁(3031),所述的導溫內壁(3031)與排液機構(306)相通;
所述的機械傳動機構(304)由動輪(3041)、推桿(3042)、傳動帶(3043)、二號錐形輪(3044)、轉軸(3045)組成,所述的動輪(3041)設有兩個并呈豎直線狀分布,所述的兩個動輪(3041)與傳動帶(3043)機械傳動配合,所述的傳動帶(3043)上固定設有推桿(3042),處于底部的所述動輪(3041)中設有二號錐形輪(3044),所述的轉軸(3045)的兩端分別與二號錐形輪(3044)、一號錐形輪(3024)機械配合,所述的推桿(3042)與L型固定桿(3015)活動連接;
所述的平移機構(305)由滑軌(3051)、第二彈簧(3052)、滑塊(3053)、小卡子(3054)、L型卡桿(3055)、卡子(3056)組成,所述的滑塊(3053)安裝在滑軌(3051)中并與滑軌(3051)滑動配合,所述的滑塊(3053)與第二彈簧(3052)固定連接,所述的第二彈簧(3052)遠離滑塊(3053)的一端固定在滑軌(3051)內壁上,所述的滑塊(3053)上設有卡子(3056),所述的卡子(3056)與滑塊(3053)呈一體結構,所述的滑塊(3053)上設有與小卡子(3054)相配合的小卡槽,所述的小卡子(3054)與L型卡桿(3055)呈一體結構設立,所述的L型卡桿(3055)與固定延伸塊(3019)活動連接;
所述的排液機構(306)由氣缸(3061)、氣缸驅動桿(3062)、活動塊(3063)、U型密封腔(3064)、第一驅動桿(3065)、活動卡桿(3066)、出液管道(3067)、凹槽(3068)、凸板(3069)、第三彈簧(30610)組成,所述的氣缸(3061)與氣缸驅動桿(3062)機械配合,所述的氣缸驅動桿(3062)遠離氣缸(3061)的一端與活動塊(3063)固定連接,所述的活動塊(3063)設有兩個并分別設于U型密封腔(3064)兩個端口上,所述的第一驅動桿(3065)與遠離氣缸驅動桿(3062)的活動塊(3063)機械焊接,所述的第一驅動桿(3065)與活動卡桿(3066)機械連接,所述的活動卡桿(3066)與凸板(3069)活動連接,所述的凸板(3069)與凹槽(3068)相卡合,所述的凸板(3069)遠離凹槽(3068)的一端與第三彈簧(30610)固定連接,所述的凹槽(3068)設于出液管道(3067)中;
所述的活動門板控制機構(307)由第二連接桿(3071)、矩形固定板(3072)、U型活動桿(3073)、滾輪(3074)、固定連接桿(3075)組成,所述的第二連接桿(3071)設有兩個并且兩個第二連接桿(3071)均固定在矩形固定板(3072)上,所述的兩個第二連接桿(3071)遠離矩形固定板(3072)的一端分別固定在兩個固定連接桿(3075)上,所述的固定連接桿(3075)與第一固定板(3011)垂直焊接,所述的U型活動桿(3073)內側設有矩形固定板(3072),所述的U型活動桿(3073)的兩端上均設有滾輪(3074),所述的兩個滾輪(3074)與兩個第二連接桿(3071)滑動配合。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于安徽科創生產力促進中心有限公司,未經安徽科創生產力促進中心有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910146747.0/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





