[發明專利]一種電阻器端電極薄膜化的制備方法在審
| 申請號： | 201910139498.2 | 申請日： | 2019-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN109841366A | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | 羅俊堯;楊曌;李保昌;沓世我;朱澤朝 | 申請（專利權）人： | 廣東風華高新科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01C17/28 | 分類號： | H01C17/28 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文;麥小嬋 |
| 地址： | 526000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電阻條 制備 單元網絡電阻體 端電極薄膜 網絡電阻器 光刻掩膜 網絡電阻 電阻器 端電極 側端 片式網絡電阻器 電阻器基板 薄膜電極 尺寸產品 雙面鍍膜 形成單元 正面電極 重疊放置 凹槽型 薄膜化 有效地 分割 堆疊 基板 掩膜 薄膜 兼容 整齊 印刷 生產 | ||
1.一種電阻器端電極薄膜化的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
在印刷有標記且已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板上制備光刻掩膜，得到形成光刻掩膜的網絡電阻器基板；
將所述形成光刻掩膜的電阻器基板分割成數條條狀的電阻條，并將單元網絡電阻體的兩端用于引出網絡電阻體的正面電極均引出至數條所述電阻條的側端；
將不同電阻條上的單元網絡電阻體重疊放置，并將數條所述電阻條的側端整齊堆疊形成端面；
對所述端面進行雙面鍍膜處理和去掩膜處理，形成完整的端面薄膜電極；
將形成了完整的端面薄膜電極后的條狀網絡電阻器進行二次分割，完成凹槽型網絡電阻器薄膜端電極的制備。
2.如權利要求1所述的電阻器端電極薄膜化的制備方法，其特征在于，所述在印刷有標記且已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板上制備光刻掩膜，得到形成光刻掩膜的網絡電阻器基板的步驟之前，所述方法還包括：
在氧化鋁基板的正面上印刷上正面電極和網絡電阻體，并在所述氧化鋁基板的背面上印刷上背面電極，得到所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板。
3.如權利要求1所述的電阻器端電極薄膜化的制備方法，其特征在于，所述在印刷有標記且已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板上制備光刻掩膜，得到形成光刻掩膜的網絡電阻器基板，具體為：
利用旋涂法或浸漬提拉法在所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板上均勻涂覆光刻膠，使所述印刷有標記的網絡電阻器基板上的每一孔內部覆蓋所述光刻膠；
將進行光刻膠涂覆后印刷有標記的網絡電阻器基板進行烘干、選擇性曝光、顯影操作，得到所述形成光刻掩膜的網絡電阻器基板。
4.如權利要求3所述的電阻器端電極薄膜化的制備方法，其特征在于，所述利用旋涂法在所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板上均勻涂覆光刻膠，具體為：
利用旋涂法在所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板上均勻涂覆光刻膠，使所述印刷有標記的網絡電阻器基板上的每一孔內部覆蓋所述光刻膠；其中，所述光刻膠的粘度為30-300cp，所述旋涂法的涂膠轉速為500-3000r/min，時間為10-50s；
在所述光刻膠涂覆完畢后，采用溫度為70-120℃的烘箱對所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板進行10-60min的第一次烘烤；
對經過所述第一次烘烤的所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板進行選擇性曝光；
對選擇性曝光后的所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板采用溫度為70-120℃的烘箱進行10-30min的第二次烘烤；
對經過所述第二次烘烤的所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板進行1-5min的顯影；
對顯影完成后的所述印刷有標記并已形成單元網絡電阻體的網絡電阻器基板進行干燥后以保留基片孔內部的光刻膠，最終完成濺射時光刻掩膜的制備。
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