[發明專利]進氣裝置及反應腔室在審
| 申請號： | 201910138374.2 | 申請日： | 2019-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN111613508A | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 王樂;柳朋亮 | 申請（專利權）人： | 北京北方華創微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;張天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 反應 | ||
1.一種進氣裝置，其特征在于，包括進氣本體和噴嘴，所述進氣本體的上端面設有環形凹道，在所述進氣本體的環形凹道處設置有安裝孔，所述噴嘴中設置有進氣孔，所述噴嘴可拆卸的安裝在所述安裝孔中，且所述進氣孔與所述環形凹道連通。
2.根據權利要求1所述的進氣裝置，其特征在于，在所述安裝孔的孔壁上設置有第一凸部；
所述噴嘴的外壁上設置有第二凸部，所述噴嘴的所述第二凸部疊置在所述安裝孔的所述第一凸部上；在所述第一凸部和所述第二凸部相互疊置的兩個表面之間設置有密封圈。
3.根據權利要求2所述的進氣裝置，其特征在于，所述安裝孔的上端開設在所述環形凹道的底部，所述安裝孔的下端開設在所述進氣本體的下端面；所述噴嘴與所述安裝孔間隙配合，所述進氣孔貫通所述噴嘴的兩端，所述進氣孔的上端與所述環形凹道相連通。
4.根據權利要求2所述的進氣裝置，其特征在于，所述安裝孔的上端開設在所述進氣本體的上端面，所述安裝孔的下端開設在所述進氣本體的下端面；
所述噴嘴與所述安裝孔間隙配合，所述噴嘴的上部設有連通槽，所述進氣孔的下端開設在所述噴嘴的下端面，所述進氣孔的上端通過所述連通槽與所述環形凹道相連通。
5.根據權利要求2-4任意一項所述的進氣裝置，其特征在于，所述噴嘴的材料包括陶瓷或者石英。
6.根據權利要求1所述的進氣裝置，其特征在于，在所述安裝孔的孔壁上設置有內螺紋；
所述噴嘴的外周壁上設置有與所述內螺紋相配合的外螺紋；所述噴嘴螺紋連接在所述安裝孔內。
7.根據權利要求6所述的進氣裝置，其特征在于，所述安裝孔包括由上而下同軸設置的螺紋孔和擴孔，其中，
所述擴孔的直徑大于所述螺紋孔的直徑；所述螺紋孔的上端開設在所述環形凹道的底部，所述擴孔的下端開設在所述進氣本體的下端面；
所述噴嘴包括由上而下依次設置的第一本體和第二本體，其中，在所述第一本體的外周壁上設置有所述外螺紋并螺紋連接在所述螺紋孔中；所述第二本體設置在所述擴孔中，所述第二本體的直徑大于所述第一本體的直徑；
所述進氣孔貫通所述噴嘴的兩端，所述進氣孔的上端與所述環形凹道相連通。
8.根據權利要求6所述的進氣裝置，其特征在于，所述安裝孔包括由上而下同軸設置的螺紋孔和擴孔，其中，
所述擴孔的直徑大于所述螺紋孔的直徑；所述螺紋孔的上端開設在所述進氣本體的上端面，所述擴孔的下端開設在所述進氣本體的下端面；
所述噴嘴包括由上而下依次設置的第一本體和第二本體，其中，在所述第一本體的外周壁上設置有所述外螺紋并螺紋連接在所述螺紋孔中；所述第二本體設置在所述擴孔中，所述第二本體的直徑大于所述第一本體的直徑；
所述噴嘴的上部設有連通槽，所述進氣孔的下端開設在所述噴嘴的下端面，所述進氣孔的上端通過所述連通槽與所述環形凹道相連通。
9.根據權利要求7或8所述的進氣裝置，其特征在于，在所述第二本體朝向所述螺紋孔的端面與所述擴孔的相對面之間設置有密封圈。
10.根據權利要求6-8任意一項所述的進氣裝置，其特征在于，所述噴嘴的材料包括金屬。
11.一種反應腔室，其特征在于，包括如權利要求1-10任意一項的所述進氣裝置。
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