[發(fā)明專利]一種缺陷檢測裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910132634.5
• 申請日: 2019-02-22
• 公開（公告）號: CN111610195A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設計）人: 宋春峰;王婷婷;鄒秀陽;陸海亮
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明公開了一種缺陷檢測裝置。該缺陷檢測裝置包括：工件臺；同步控制器，用于接收工件臺提供的觸發(fā)指令，并產(chǎn)生多種同步控制信號；明場照明光源，與所述同步控制器連接，用于接收明場同步控制信號，并根據(jù)明場同步控制信號進行開啟操作；和/或，暗場照明光源，與同步控制器連接，用于接收暗場同步控制信號，并根據(jù)暗場同步控制信號進行開啟操作；成像組件；分光棱鏡；至少兩個探測器，用于接收明場同步控制信號或暗場同步控制信號，并根據(jù)明場同步控制信號或暗場同步控制信號進行開啟操作；每個探測器用于接收一路出射光束，并對根據(jù)出射光束對待檢測物體進行缺陷檢測。本發(fā)明實施例提供的缺陷檢測裝置，提高了缺陷檢測的效率。

技術領域

本發(fā)明實施例涉及半導體材料缺陷檢測技術領域，尤其涉及一種缺陷檢測裝置。

背景技術

自動光學檢測(Automatic Optical Inspection，AOI)是一種快速的、自動的缺陷檢測技術，可實現(xiàn)晶圓或芯片等待檢測物體的快速、高精度、無損傷檢測。該技術廣泛地應用于PCB、集成電路、LED、TFT以及太陽能面板等領域。

在現(xiàn)有技術中，缺陷檢測裝置包括探測器、存儲單元和工件臺等。在利用缺陷檢測裝置檢測待檢測物體的缺陷時，探測器需要對待檢測物體進行圖像采集，并將拍照所得的圖像信息傳輸至存儲單元并完成存儲。并且，通常情況下，只有在缺陷檢測裝置完成當前圖像的傳輸和存儲以后，探測器才可以對待檢測物體的下一個檢測位置進行圖像采集。

但是，缺陷檢測裝置傳輸和存儲圖像需要的時間較長，為了保證圖像數(shù)據(jù)能夠完成傳輸和存儲，缺陷檢測裝置的工件臺只能以較低的速度運動，以使缺陷檢測裝置連續(xù)兩次采集的圖像連續(xù)。圖像的傳輸與保存，與工件臺的運動速度不匹配，嚴重制約了缺陷檢測的效率。

發(fā)明內容

本發(fā)明提供一種缺陷檢測裝置，以提高缺陷檢測效率。

本發(fā)明實施例提供了一種缺陷檢測裝置，包括：

工件臺，用于承載待檢測物體，并控制所述待檢測物體運動；

同步控制器，與所述工件臺連接，用于接收所述工件臺提供的觸發(fā)指令，并根據(jù)所述觸發(fā)指令產(chǎn)生多種同步控制信號；其中，所述同步控制信號包括明場同步控制信號和/或暗場同步控制信號；

明場照明光源，與所述同步控制器連接，用于接收所述明場同步控制信號，并根據(jù)所述明場同步控制信號進行開啟操作，以對所述待檢測物體進行明場模式照明；和/或，暗場照明光源，與所述同步控制器連接，用于接收所述暗場同步控制信號，并根據(jù)所述暗場同步控制信號進行開啟操作，以對所述待檢測物體進行暗場模式照明；

成像組件，用于對經(jīng)過所述待檢測物體后的光束進行成像處理；

分光棱鏡，位于所述成像組件的出光側，用于將入射至所述分光棱鏡的入射光束分成至少兩束沿不同方向傳播的出射光束；

至少兩個探測器，每個所述探測器均與所述同步控制器連接，用于接收所述明場同步控制信號或所述暗場同步控制信號，并根據(jù)所述明場同步控制信號或所述暗場同步控制信號進行開啟操作；每個所述探測器用于接收一路所述出射光束，并對根據(jù)所述出射光束對所述待檢測物體進行缺陷檢測。

進一步地，所述缺陷檢測裝置包括所述暗場照明光源；

所述分光棱鏡用于將入射至所述分光棱鏡的入射光束分成沿不同方向傳播的第一出射光束和第二出射光束；

所述至少兩個探測器包括第一黑白探測器和第二黑白探測器；其中，所述第一黑白探測器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探測器用于接收所述第二出射光束；

所述暗場同步控制信號包括第一暗場同步控制信號和第二暗場同步控制信號；所述同步控制器用于交替產(chǎn)生所述第一暗場同步控制信號和第二暗場同步控制信號；