[發明專利]一種缺陷檢測裝置在審
| 申請號： | 201910132634.5 | 申請日： | 2019-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN111610195A | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 宋春峰;王婷婷;鄒秀陽;陸海亮 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備(集團)股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 缺陷 檢測 裝置 | ||
1.一種缺陷檢測裝置，其特征在于，包括：
工件臺，用于承載待檢測物體，并控制所述待檢測物體運動；
同步控制器，與所述工件臺連接，用于接收所述工件臺提供的觸發指令，并根據所述觸發指令產生多種同步控制信號；其中，所述同步控制信號包括明場同步控制信號和/或暗場同步控制信號；
明場照明光源，與所述同步控制器連接，用于接收所述明場同步控制信號，并根據所述明場同步控制信號進行開啟操作，以對所述待檢測物體進行明場模式照明；和/或，暗場照明光源，與所述同步控制器連接，用于接收所述暗場同步控制信號，并根據所述暗場同步控制信號進行開啟操作，以對所述待檢測物體進行暗場模式照明；
成像組件，用于對經過所述待檢測物體后的光束進行成像處理；
分光棱鏡，位于所述成像組件的出光側，用于將入射至所述分光棱鏡的入射光束分成至少兩束沿不同方向傳播的出射光束；
至少兩個探測器，每個所述探測器均與所述同步控制器連接，用于接收所述明場同步控制信號或所述暗場同步控制信號，并根據所述明場同步控制信號或所述暗場同步控制信號進行開啟操作；每個所述探測器用于接收一路所述出射光束，并對根據所述出射光束對所述待檢測物體進行缺陷檢測。
2.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述缺陷檢測裝置包括所述暗場照明光源；
所述分光棱鏡用于將入射至所述分光棱鏡的入射光束分成沿不同方向傳播的第一出射光束和第二出射光束；
所述至少兩個探測器包括第一黑白探測器和第二黑白探測器；其中，所述第一黑白探測器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探測器用于接收所述第二出射光束；
所述暗場同步控制信號包括第一暗場同步控制信號和第二暗場同步控制信號；所述同步控制器用于交替產生所述第一暗場同步控制信號和第二暗場同步控制信號；
所述第一暗場同步控制信號用于依次控制所述第一黑白探測器和所述暗場照明光源開啟；
所述第二暗場同步控制信號用于依次控制所述第二黑白探測器和所述暗場照明光源開啟。
3.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述缺陷檢測裝置包括所述明場照明光源；
所述分光棱鏡用于將入射至所述分光棱鏡的入射光束至少分成沿不同方向傳播的第一出射光束和第二出射光束；
所述至少兩個探測器包括第一黑白探測器和第二黑白探測器；其中，所述第一黑白探測器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探測器用于接收所述第二出射光束；
所述明場同步控制信號包括第一明場同步控制信號和第二明場同步控制信號；所述同步控制器用于交替產生所述第一明場同步控制信號和第二明場同步控制信號；
所述第一明場同步控制信號用于依次控制所述第一黑白探測器和所述明場照明光源開啟；所述第二明場同步控制信號用于依次控制所述第二黑白探測器和所述明場照明光源開啟。
4.根據權利要求3所述的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述分光棱鏡為三分束棱鏡；所述三分束棱鏡用于將入射至所述三分束棱鏡的入射光束分成所述第一出射光束、所述第二出射光束和第三出射光束；
所述至少兩個探測器還包括彩色探測器；所述彩色探測器與所述第一黑白探測器共同接收所述第一明場同步控制信號，或，所述彩色探測器與所述第二黑白探測器共同接收所述第二明場同步控制信號；所述彩色探測器用于接收所述第三出射光束，并根據所述第三出射光束對所述待檢測物體進行拍照。
5.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述缺陷檢測裝置包括所述明場照明光源和所述暗場照明光源；
所述分光棱鏡用于將入射至所述分光棱鏡的入射光束至少分成沿不同方向傳播的第一出射光束和第二出射光束；
所述至少兩個探測器包括第一黑白探測器和第二黑白探測器；其中，所述第一黑白探測器用于接收所述第一出射光束，所述第二黑白探測器用于接收所述第二出射光束；
所述同步控制器用于交替產生所述明場同步控制信號和暗場同步控制信號；
所述明場同步控制信號用于依次控制所述第一黑白探測器和所述明場照明光源開啟；
所述暗場同步控制信號用于依次控制所述第二黑白探測器和所述暗場照明光源開啟。
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