[發明專利]光罩曝光控制方法有效
| 申請號： | 201910131385.8 | 申請日： | 2019-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN109739072B | 公開（公告）日： | 2021-02-09 |
| 發明（設計）人： | 杜武兵;林偉;司繼偉 | 申請（專利權）人： | 深圳市路維光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 黃莉 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳市南*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 控制 方法 | ||
1.一種光罩曝光控制方法，其特征在于，包括以下步驟：
獲得多品種無規則混合排版的光罩的整版圖形；
分析所述整版圖形，將整版圖形劃分為若干個圖形區和共用信息區，具有相同排版規則的圖形劃分在同一個圖形區內，所述共用信息區包含有所述若干個圖形區共用的信息的圖形；
以每個圖形區作為一個曝光區，所述共用信息區單獨作為一個曝光區或者將所述共用信息區與其中一個圖形區合并為一個曝光區，針對每個曝光區一一對應地生成曝光文件；
確定每個曝光區適用的mura控制參數；
逐一調取各曝光區的曝光文件及相應的mura控制參數，對同一張空白版材進行重復曝光作業。
2.如權利要求1所述的光罩曝光控制方法，其特征在于，所述針對每個曝光區一一對應地生成曝光文件具體包括：選中一個曝光區，保留選中的曝光區內的圖形而刪除其他曝光區的圖形，根據保留的圖形生成曝光文件。
3.如權利要求1所述的光罩曝光控制方法，其特征在于，所述共用的信息至少包括：對位標識和文件名。
4.如權利要求1所述的光罩曝光控制方法，其特征在于，所述確定每個曝光區適用的mura控制參數具體為：針對每一個曝光區進行單獨的mura測試，根據測試結果確定每一個曝光區分別適用的mura控制參數。
5.如權利要求1所述的光罩曝光控制方法，其特征在于，在逐一調取各曝光區的曝光文件及相應的mura控制參數，對同一張空白版材進行重復曝光作業時，首先調取對應包含有共用信息區的曝光區的曝光文件及相應的mura控制參數，對空白版材進行初次曝光作業。
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