[發明專利]一種超薄高平整度聚酰亞胺薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201910108371.4 | 申請日： | 2019-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN109912821A | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發明（設計）人： | 王宏志;陳彥平;王剛;何中媛;李耀剛;張青紅;侯成義 | 申請（專利權）人： | 東華大學 |
| 主分類號： | C08J5/18 | 分類號： | C08J5/18;C08L79/08 |
| 代理公司： | 上海泰能知識產權代理事務所 31233 | 代理人： | 黃志達;魏峯 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚酰亞胺 制備 聚酰亞胺薄膜 高平整度 載玻片 有機溶液 氧氣等離子體處理 等離子體處理 二甲基乙酰胺 干燥惰性氣體 聚酰亞胺粉末 聚酰亞胺溶液 熱處理 高純氬氣 劇烈攪拌 旋涂成膜 吹干 水浸 旋涂 冷卻 清洗 溶解 剝離 | ||
1.一種超薄高平整度聚酰亞胺薄膜的制備方法，包括：
(1)將聚酰亞胺粉末溶解于N,N-二甲基乙酰胺中，劇烈攪拌，得到濃度為100～150mg/mL的聚酰亞胺有機溶液；
(2)將載玻片清洗干凈后，高純氬氣吹干，氧氣等離子體處理，得到等離子體處理后的載玻片；
(3)在干燥惰性氣體保護的環境下，將步驟(1)中的聚酰亞胺有機溶液旋涂到步驟(2)中等離子體處理后的載玻片上，真空下熱處理，冷卻，水浸，靜置，剝離，即可得到超薄高平整度聚酰亞胺薄膜。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中劇烈攪拌的工藝條件為：在密閉容器中室溫劇烈攪拌12～24h。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中高純氬氣的純度為99.999％及以上。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中載玻片清洗的工藝條件為：依次用超純水、丙酮、異丙醇超聲清洗10～20min；氧氣等離子體處理的工藝參數為：射頻功率為300～500W，處理時間為5～10min。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中惰性氣體為氮氣或氬氣；干燥是指環境的含水量為1ppm及以下。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中旋涂的工藝參數為：旋涂速率為3000～4000r/min，旋涂時間為1～2min，旋涂加速度為1000～1500r/s2。
7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中真空下熱處理的工藝參數為：真空度為0.1MPa及以下，熱處理溫度為100～120℃，熱處理時間為24～48h。
8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中冷卻的工藝條件為：在空氣環境下室溫冷卻。
9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中水浸的工藝條件為：將冷卻后的樣品轉移至60～70℃的水中，使水面完全浸沒樣品。
10.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中靜置的時間為5～10min；剝離的工藝條件為：室溫下在水中進行或者從水中取出后在室溫空氣中進行。
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