[發(fā)明專利]保持面的磨削方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910103280.1
• 申請(qǐng)日: 2019-02-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110125731B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 長(zhǎng)井健;木川有希子;掛札將樹(shù)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B24B1/00
• 分類號(hào): B24B1/00;B24B13/01
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

提供保持面的磨削方法，能夠利用保持工作臺(tái)進(jìn)行保持以使磨削后的晶片的中央不會(huì)變薄。在保持面的磨削方法中，所使用的磨削磨具(14)是使陶瓷結(jié)合劑(15)與金剛石磨粒(16)混合并進(jìn)行燒結(jié)而固體化得到的在磨削面(14a)上具有氣孔(17)的陶瓷磨具，形成為環(huán)狀且在磨削面上不具有間隙，使保持工作臺(tái)(21)旋轉(zhuǎn)而使磨削面與保持面(24a)的半徑區(qū)域接觸，從而對(duì)保持面進(jìn)行磨削，因此，能夠在半徑區(qū)域中一邊使金剛石磨粒埋入到磨削面的氣孔內(nèi)一邊對(duì)保持面進(jìn)行磨削，當(dāng)通過(guò)了保持面的中心(C)而在磨削面與保持面之間產(chǎn)生間隙時(shí)，能夠利用從磨削面的氣孔擠出的金剛石磨粒在保持面的中央形成凹部(25)。由此，能夠利用保持面沒(méi)有間隙地對(duì)晶片進(jìn)行保持，從而能夠?qū)⒕ハ鞒删鶆虻暮穸取?/p>

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)保持工作臺(tái)的保持面進(jìn)行磨削的磨削方法。

背景技術(shù)

對(duì)晶片進(jìn)行磨削的磨削裝置具有：保持工作臺(tái)，其對(duì)晶片進(jìn)行保持；以及磨削單元，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝有磨削磨輪，在該磨削磨輪上固定有對(duì)保持在保持工作臺(tái)上的晶片實(shí)施磨削的磨削磨具，從而能夠?qū)⒕ハ髦烈?guī)定的厚度。在磨削裝置中，在對(duì)磨削磨輪或保持工作臺(tái)進(jìn)行了更換等之后，為了使保持工作臺(tái)的保持面與磨削磨具的磨削面平行，實(shí)施利用磨削磨具對(duì)保持面進(jìn)行磨削的自磨(self grind)(例如，參照下述的專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2014-237210號(hào)公報(bào)

在上述自磨中，通過(guò)使磨削磨具的磨削面與保持工作臺(tái)的半徑范圍接觸而進(jìn)行磨削，因此使保持工作臺(tái)的保持面形成為圓錐形狀。在被保持工作臺(tái)保持的晶片較厚的情況下，晶片無(wú)法仿照著保持面的形狀而是在保持面的圓錐面的頂點(diǎn)附近(即，在保持面與晶片的中央下表面之間)產(chǎn)生間隙，存在晶片的中央被過(guò)度磨削而變薄的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于能夠利用保持工作臺(tái)來(lái)進(jìn)行保持以使磨削后的晶片的中央不會(huì)變得過(guò)薄。

本發(fā)明是保持面的磨削方法，使用磨削裝置并利用通過(guò)該保持面的中心的磨削磨具對(duì)該保持面進(jìn)行磨削，該磨削裝置具有：磨削單元，其以呈環(huán)狀地配設(shè)有該磨削磨具的磨削磨輪的中心為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；以及保持單元，其使保持工作臺(tái)以對(duì)晶片進(jìn)行保持的保持面的中心為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，其中，該磨削磨具是使陶瓷結(jié)合劑與金剛石磨粒混合并進(jìn)行燒結(jié)而固體化得到的、在磨削面上具有氣孔的陶瓷磨具，該磨削磨具形成為環(huán)狀且在該磨削面上不具有間隙，使該保持工作臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使該磨削面與該保持面的半徑區(qū)域接觸，從而對(duì)該保持面進(jìn)行磨削。

優(yōu)選上述金剛石磨粒使用了粒度600。

在本發(fā)明的保持面的磨削方法中，構(gòu)成為所使用的磨削磨具是使陶瓷結(jié)合劑與金剛石磨粒混合并進(jìn)行燒結(jié)而固體化得到的、在磨削面上具有氣孔的陶瓷磨具，該磨削磨具形成為環(huán)狀且在磨削面上不具有間隙，使保持工作臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使磨削面與保持面的半徑區(qū)域接觸，從而對(duì)保持面進(jìn)行磨削，因此在半徑區(qū)域中，能夠一邊使金剛石磨粒埋入到磨削面的多個(gè)氣孔內(nèi)一邊對(duì)保持面進(jìn)行磨削，當(dāng)通過(guò)了保持面的中心而在磨削面與保持面之間產(chǎn)生間隙時(shí)，能夠利用從磨削面的氣孔擠出的金剛石磨粒在保持面的中央形成平坦的凹部。由此，例如在利用保持工作臺(tái)對(duì)厚度較厚的晶片進(jìn)行保持的情況下，由于能夠利用在中央形成有凹部的保持面以沒(méi)有間隙的方式對(duì)晶片進(jìn)行保持，因此，能夠防止晶片的中央被過(guò)度磨削，從而能夠?qū)⒕ハ鞒删鶆虻暮穸取?/p>

作為上述金剛石磨粒，通過(guò)使用粒度600，能夠?qū)⒈３置娴谋砻娲植诙染庸榱己谩?/p>

附圖說(shuō)明

圖1是局部地示出磨削裝置的一例的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖2是示出利用磨削磨具對(duì)保持面進(jìn)行磨削的狀態(tài)的剖視圖。

圖3是示出磨削磨具的旋轉(zhuǎn)軌跡并且對(duì)利用磨削磨具磨削保持面的半徑區(qū)域進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。

圖4是示出利用磨削磨具對(duì)保持面的半徑區(qū)域進(jìn)行磨削的狀態(tài)的局部放大圖。