[發明專利]探針、探測單元以及檢查裝置

在審

• 申請號: 201910102581.2
• 申請日: 2019-02-01
• 公開（公告）號: CN110133335A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 小川原崇裕
• 申請（專利權）人: 日置電機株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 韓俊

一種探針、探測單元以及檢查裝置，在使多個探針的前端部靠近的狀態下與接觸對象接觸。探針形成為柱狀，并構成為在對基端部(21a)進行支承的狀態下使設于前端部(21b)的接觸部(31)與接觸對象接觸，從而能與接觸對象之間進行電信號的輸入輸出，基端部(21a)形成為與探針的中心軸(A)正交的截面(C)的截面形狀呈非圓形，接觸部(31)由利用相對于中心軸(A)傾斜的平面使前端部(21b)的一部分被切削而分別形成的兩個切削面(S2)和前端部(21b)的兩個外周面(F1、F4)劃定，并形成在沿中心軸(A)突出的部位處。

技術領域

本發明涉及用于與接觸對象之間進行電信號的輸入輸出的探針、包括該探針的探測單元以及包括該探測單元的檢查裝置。

背景技術

作為這種探測單元，在下述專利文獻1中已知有申請人公開的探測單元。上述探測單元構成為包括：探針，該探針用于使前端部與探測對象接觸以與探測對象之間進行電信號的輸入輸出；以及支承部，該支承部對探針進行支承。此時，探針形成為前端部呈圓錐狀的(前端部變細)的圓柱狀。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2016-170159號公報(第8頁、圖1)

發明內容

發明所要解決的技術問題

然而，在上述現有的探針以及包括該探針的探測單元中，存在待改善的如下技術問題。具體而言，上述探針形成為前端部呈圓錐狀的圓柱狀。在這種情況下，這種圓錐狀的前端部是使用車床等旋轉加工系統的工作機械形成的，因此，在加工特性上，圓錐的頂部位于探針的中心軸上。因而，位于探針的中心軸上的圓錐的頂部變為與探針對象接觸。另一方面，與探針對象接觸的圓錐的頂部為了避免接觸時的破損而需要確保充分的強度，因此，較為理想的是，在圓錐的頂部設置倒圓(SR)，并將該部分形成得盡可能小。因而，在這種探針中，采用探針越細，越是增大圓錐的頂部的角度(設為鈍角)的結構。

在這種情況下，例如，如圖12、圖13所示，在以使兩個探針521的前端部(圓錐的頂部)彼此靠近的狀態下使探針521與作為探測對象的基板100的導體部101(被接觸位置)接觸時，需要以使圓錐的頂部的角度越大、越是增大各探針521的各中心軸A所成的角度(越是減小相對于基板100的傾斜角度)的方式使各探針521相對于基板100大幅傾斜。然而，通過使探針521以上述方式大幅傾斜，從而使探針521的前端部之外的部位也靠近基板100(即、探針521整體靠近)，因此，例如，在安裝于基板100的電子元器件等安裝于導體部101(被接觸位置)附近時，探針521的前端部之外的部位可能會與電子元器件等接觸，以使探針521的前端部很難與導體部101接觸。如上所述，在現有探針和包括該探針的探測單元中，存在在使多個探針的前端部彼此靠近的狀態下使探針與探測對象接觸變得困難的擔憂，希望在這點上有所改進。

本發明鑒于上述技術問題而作，其主要目的在于提供能夠在使多個探針的前端部靠近的狀態下與接觸對象接觸的探針、探測單元以及檢查裝置。

解決技術問題所采用的技術方案

為了實現上述目的，第一發明的探針形成為柱狀，并在對基端部進行支承的狀態下使設于前端部的接觸部與接觸對象接觸，用以與上述接觸對象之間進行電信號的輸入輸出，上述基端部形成為與上述探針的中心軸正交的截面的截面形狀呈非圓形，上述接觸部由利用相對于上述中心軸傾斜的平面使上述前端部的一部分被切削而分別形成的兩個切削面和上述前端部的兩個外周面劃定，從而形成在沿上述中心軸突出的部位處。

此外，第二發明的探針是在第一發明的探針的基礎上，上述接觸部形成于相鄰的各上述外周面彼此的交叉部分附近。

此外，第三發明的探針是在第二發明的探針的基礎上，上述前端部形成為相鄰的各上述外周面彼此呈直角地交叉。