[發明專利]探針、探測單元以及檢查裝置

在審

• 申請號: 201910102581.2
• 申請日: 2019-02-01
• 公開（公告）號: CN110133335A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 小川原崇裕
• 申請（專利權）人: 日置電機株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 韓俊

1.一種探針，形成為柱狀，并在基端部得到支承的狀態下使設于前端部的接觸部與接觸對象接觸以與所述接觸對象之間進行電信號的輸入輸出，

其特征在于，

所述基端部形成為與所述探針的中心軸正交的截面的截面形狀呈非圓形，

所述接觸部由利用相對于所述中心軸傾斜的平面將所述前端部的一部分切削而分別形成的兩個切削面和所述前端部的兩個外周面劃定，從而形成在沿所述中心軸突出的部位處。

2.如權利要求1所述的探針，其特征在于，

所述接觸部形成于相鄰的各所述外周面彼此的交叉部分附近。

3.如權利要求2所述的探針，其特征在于，

所述前端部形成為相鄰的各所述外周面彼此呈直角地交叉。

4.一種探測單元，包括權利要求1所述的探針和對所述探針進行支承的支承部，

其特征在于，

所述支承部包括嵌合部，所述嵌合部能與處于繞所述探針的所述中心軸的轉動被限制的狀態下的所述探針嵌合的插通孔和槽部中的任一方形成，所述支承部構成為能在所述探針與所述嵌合部嵌合的狀態下對所述探針進行支承。

5.一種探測單元，包括權利要求2所述的探針和對所述探針進行支承的支承部，

其特征在于，

所述支承部包括嵌合部，所述嵌合部由能在限制了所述探針繞所述中心軸的轉動的狀態下實現所述探針的嵌合的插通孔和槽部中的任一方形成，所述支承部構成為能在使所述探針與所述嵌合部嵌合的狀態下對所述探針進行支承。

6.一種探測單元，包括權利要求3所述的探針和對所述探針進行支承的支承部，

其特征在于，

所述支承部包括嵌合部，所述嵌合部由能在限制了所述探針繞所述中心軸的轉動的狀態下進行所述探針的嵌合的插通孔和槽部中的任一方形成，所述支承部構成為能在使所述探針與所述嵌合部嵌合的狀態下對所述探針進行支承。

7.如權利要求4所述的探測單元，其特征在于，

所述探針形成為所述截面形狀呈矩形，

所述嵌合部由具有與所述探針的所述截面形狀互補的形狀的所述插通孔和具有與所述探針的所述截面形狀互補的形狀的所述槽部中的任一方形成。

8.如權利要求5所述的探測單元，其特征在于，

所述探針形成為所述截面形狀呈矩形，

所述嵌合部由具有與所述探針的所述截面形狀互補的形狀的所述插通孔和具有與所述探針的所述截面形狀互補的形狀的所述槽部中的任一方形成。

9.如權利要求6所述的探測單元，其特征在于，

所述探針形成為所述截面形狀呈矩形，

所述嵌合部由具有與所述探針的所述截面形狀互補的形狀的所述插通孔和具有與所述探針的所述截面形狀互補的形狀的所述槽部中的任一方形成。

10.如權利要求7所述的探測單元，其特征在于，

所述支承部構成為包括腕部，

所述嵌合部以所述矩形的各邊相對于所述腕部的長度方向傾斜的方式形成于所述腕部的一端部側。

11.如權利要求8所述的探測單元，其特征在于，

所述支承部構成為包括腕部，

所述嵌合部以所述矩形的各邊相對于所述腕部的長度方向傾斜的方式形成于所述腕部的一端部側。

12.如權利要求9所述的探測單元，其特征在于，

所述支承部構成為包括腕部，

所述嵌合部以所述矩形的各邊相對于所述腕部的長度方向傾斜的方式形成于所述腕部的一端部側。

13.一種檢查裝置，其特征在于，包括：

權利要求4至12中任一項所述的探測單元；

移動機構，所述移動機構使所述探測單元移動，以使所述探針與所述接觸對象接觸；以及

檢查部，所述檢查部基于經由所述探針輸入、輸出的電信號，對作為所述接觸對象的檢查對象進行檢查。