[發明專利]金屬掩膜裝置

在審

• 申請號: 201910099209.0
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN109735801A
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 姜亮
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本申請提出了一種金屬掩膜裝置，包括外框，所述外框包括中空區；位于所述中空區內的金屬掩膜層，包括：金屬圖案層，包括至少一第一開口，所述第一開口的形狀與目標基板中像素單元的形狀相同；以及位于所述金屬圖案層上的隔熱層；當對所述目標基板進行加工時，所述金屬圖案層靠近所述目標基板，所述隔熱層遠離所述目標基板。本申請通過在現有金屬掩摸裝置的表面設置一隔熱層，避免金屬掩摸裝置因受熱膨脹而導致目標顯示面板混色。

技術領域

本申請涉及顯示領域，特別涉及一種金屬掩膜裝置。

背景技術

在有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示面板的制造過程中，通常采用蒸鍍工藝形成OLED顯示面板中OLED器件的有機發光層。采用蒸鍍工藝制造顯示面板中的膜層時，通常將具有對應于膜層圖案的掩膜版與顯示面板的基板上待蒸鍍的一側貼合，并置于蒸鍍源上方，蒸鍍源中的蒸鍍材料受熱形成蒸氣散至基板上，并沉積在基板上，以在基板上形成膜層。

現有的掩膜版通常采用金屬掩膜版，而蒸鍍材料為高溫氣體。因此在蒸鍍工藝中，掩膜版受到高溫氣體的影響，受熱膨脹，使得掩摸版的開口與目標基板像素單元的位置發生錯位，導致目標顯示面板產生混色的缺陷，降低了顯示面板的分辨率及良率。

發明內容

本申請提供一種金屬掩膜裝置，以解決現有金屬掩膜裝置因受熱膨脹而導致目標顯示面板混色的技術問題。

為解決上述問題，本申請提供的技術方案如下：

本申請提出了一種金屬掩膜裝置，其包括：

外框，所述外框包括中空區；

位于所述中空區內的金屬掩膜層，包括：

金屬圖案層，包括至少一第一開口，所述第一開口的形狀與目標基板中像素單元的形狀相同；以及

位于所述金屬圖案層上的隔熱層；

當對所述目標基板進行加工時，所述金屬圖案層靠近所述目標基板，所述隔熱層遠離所述目標基板。

在本申請的金屬掩膜裝置中，

所述隔熱層的材料為二氧化硅。

在本申請的金屬掩膜裝置中，

所述隔熱層還包括第二開口；

所述第二開口與所述第一開口的形狀相同。

在本申請的金屬掩膜裝置中，

所述像素單元外邊界與所述第一開口在所述目標基板的正投影面的外邊界的間距為a，a大于0。

在本申請的金屬掩膜裝置中，

所述金屬圖案層還包括位于所述第一開口內的第一凸起；

所述第一凸起在所述目標基板上的正投影面與所述像素單元不重合。

在本申請的金屬掩膜裝置中，

所述金屬掩膜裝置還包括呈板條狀的至少兩個支撐條；

部分所述支撐條沿第一方向跨設于所述外框的中空區；

其余部分所述支撐條沿第二方向跨設于所述外框的中空區，以構成支撐網；

所述支撐條的兩端分別與所述外框連接；

所述第一方向與所述第二方向交叉。

在本申請的金屬掩膜裝置中，

所述外框還包括位于第一表面上的第一凹槽；

所述支撐條內嵌于所述第一凹槽內，并將所述金屬圖案層支撐于所述中空區上。