[發(fā)明專利]隔熱配管系統和處理系統

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910098388.6
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN110118292B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設計）人: 大槻興平;三森章祥
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: F16L59/06
• 分類號: F16L59/06
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

本發(fā)明的技術問題為抑制配管結露。解決方案為：處理系統(100)包括隔熱配管(12)、溫度測量器(19)和控制裝置(20)。隔熱配管(12)具有內管和外管，內管與外管之間形成有氣密空間，溫度比配置有隔熱配管(12)的室內的溫度低的流體能夠在內管內流動。溫度測量器(19)測量隔熱配管(12)的表面的溫度。控制裝置(20)基于隔熱配管(12)的表面的溫度和根據配置有隔熱配管(12)的室內的溫度及濕度求取的露點溫度，控制對隔熱配管(12)的氣密空間內的氣體進行排氣的排氣裝置(16)，由此控制隔熱配管(12)的氣密空間內的壓力。

技術領域

本發(fā)明的各個方面和實施方式涉及隔熱配管系統和處理系統。

背景技術

在利用載熱體來控制對象裝置的溫度的情況下，存在在控制載熱體的溫度的溫度控制裝置與對象裝置之間流動載熱體的配管卷繞隔熱材料的情況。但是，載熱體的溫度與室溫相差越大，所需要的隔熱材料越厚。其結果是，配管直徑變粗，難以配置在狹窄的地方。因而，有時使用在內管與外管之間形成有真空空間的隔熱配管。隔熱配管之中，也存在內管和外管由金屬制的波紋管構成的撓性配管。

但是，在隔熱配管中，難以完全氣密地構成內管與外管之間的空間，另外，內管與外管之間的空間的真空度也與從內管、外管放出的氣體相應地隨著時間的經過而惡化。為了確保真空度有時也內置氣體吸附劑，但是吸附量是有限度的。因此，隨著時間的經過而隔熱配管的隔熱性能降低。為了避免這些問題，已知有如下技術：測量內管與外管之間的空間的壓力，基于測量出的壓力對內管與外管之間的空間內的氣體進行再排氣(例如，參照下述的專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平3-41297號公報

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的技術問題

然而，使作為載熱體的、溫度比配置有隔熱配管的室內的溫度(以下有時記載為室溫)低的流體在隔熱配管內流動的情況下，當隔熱配管的隔熱性能較低時，低溫流體的溫度傳遞到隔熱配管的表面，隔熱配管的表面結露。當隔熱配管結露時，存在如下情況：因從隔熱配管的表面流動的水分而構成半導體處理裝置的電子設備發(fā)生誤動作或者故障。

另外，在將隔熱配管彎曲來使用的情況下，產生內管與外管之間的距離變短部位，存在該部位處隔熱性能降低的情況。因此，即使在隔熱配管沒有彎曲的狀態(tài)下內管與外管之間的空間內的壓力為能夠維持隔熱配管的表面不結露這樣程度的充分的隔熱性能的壓力的情況下，在隔熱配管彎曲的狀態(tài)下也存在隔熱配管的表面的一部分結露的情況。因此，僅通過監(jiān)視內管與外管之間的空間內的壓力，難以抑制隔熱配管的表面結露。

用于解決技術問題的技術手段

本發(fā)明的一方面為隔熱配管系統，其包括隔熱配管、測量部和控制部。隔熱配管具有內管和外管，內管與外管之間形成氣密空間，溫度比配置有隔熱配管的室內的溫度低的流體能夠在內管內流動。測量部測量隔熱配管的表面的溫度。控制部基于由測量部測量出的溫度和根據配置有隔熱配管的室內的溫度及根據濕度求取的露點溫度，控制對氣密空間內的氣體進行排氣的排氣裝置，由此控制氣密空間內的壓力。

發(fā)明效果

依照本發(fā)明的各個方面和實施方式，能夠抑制隔熱配管結露。

附圖說明

圖1是表示第一實施方式中的處理系統的概略的一例的圖。

圖2是表示隔熱配管的一例的截面圖。

圖3是表示彎曲狀態(tài)的隔熱配管的內部的狀態(tài)的一例的截面圖。

圖4是表示每個彎徑R的隔熱配管的表面的溫度與室溫之間的溫度差的一例的圖。

圖5是表示第一實施方式中的控制裝置的一例的框圖。