[發明專利]隔熱配管系統和處理系統

有效

• 申請號: 201910098388.6
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN110118292B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 大槻興平;三森章祥
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: F16L59/06
• 分類號: F16L59/06
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

1.一種隔熱配管系統，其特征在于，包括：

隔熱配管，其具有內管和外管，在所述內管與所述外管之間形成有氣密空間，溫度比配置有所述隔熱配管的室內的溫度低的流體能夠在所述內管內流動；

第一測量部，其用于測量所述隔熱配管的表面的溫度；和

控制部，其基于由所述第一測量部測量出的溫度和根據配置有所述隔熱配管的室內的溫度及濕度求取的露點溫度，控制對所述氣密空間內的氣體進行排氣的排氣裝置，由此控制所述氣密空間內的壓力。

2.如權利要求1所述的隔熱配管系統，其特征在于：

所述隔熱配管具有彎曲部，

所述第一測量部測量所述彎曲部附近的所述隔熱配管的表面的溫度。

3.如權利要求1所述的隔熱配管系統，其特征在于：

所述隔熱配管具有彎曲部，

所述第一測量部測量任意位置的所述隔熱配管的表面的溫度，

所述控制部基于由所述第一測量部測量出的溫度，和將所述露點溫度加上由所述第一測量部測量出的所述溫度的所述隔熱配管的表面與所述彎曲部處的所述隔熱配管的表面之間的溫度差而得的溫度，來控制所述氣密空間內的壓力。

4.如權利要求3所述的隔熱配管系統，其特征在于：

還包括保持部，該保持部保持由所述第一測量部測量溫度的位置的所述隔熱配管的表面與所述彎曲部處的所述隔熱配管的表面之間的溫度差的數據，

所述控制部使用從所述保持部獲得的所述溫度差的數據，來控制所述氣密空間內的壓力。

5.如權利要求1至4的任一項所述的隔熱配管系統，其特征在于，還包括：

第二測量部，其測量配置有所述隔熱配管的室內的溫度；和

第三測量部，其測量配置有所述隔熱配管的室內的濕度，

所述控制部基于由所述第一測量部測量出的溫度，和將所述露點溫度加上所述露點溫度的誤差而得的溫度，來控制所述氣密空間內的壓力，其中所述露點溫度的誤差是伴隨由所述第二測量部測量出的溫度的測量誤差和由所述第三測量部測量出的濕度的測量誤差而產生的。

6.如權利要求1至4的任一項所述的隔熱配管系統，其特征在于，還包括：

連接所述氣密空間與所述排氣裝置的排氣管；和

設置于所述排氣管的閥，

所述排氣裝置對配置有熱交換部件的腔室內的氣體進行排氣，其中所述熱交換部件用于在經由所述隔熱配管供給的流體與被處理基片之間進行熱交換，

所述控制部將所述閥控制為打開狀態，控制所述排氣裝置來控制所述氣密空間內的壓力。

7.如權利要求6所述的隔熱配管系統，其特征在于：

在所述腔室與所述排氣裝置之間設置有壓力控制閥，

在所述壓力控制閥被控制為關閉狀態的情況下，所述控制部將所述閥控制為打開狀態，控制所述排氣裝置來控制所述氣密空間內的壓力。

8.一種處理系統，其特征在于，包括：

構成為氣密的腔室，其對送入到內部的被處理基片實施規定的處理；

設置在所述腔室內的熱交換部件，其用于在內部流通的流體與所述被處理基片之間進行熱交換；

用于對所述熱交換部件供給所述流體的供給裝置；

隔熱配管，其連接在所述熱交換部件與所述供給裝置之間，具有內管和外管，在所述內管與所述外管之間形成有氣密空間，所述流體能夠在所述內管內流動；

測量部，其測量所述隔熱配管的表面的溫度；

用于對所述氣密空間內的氣體進行排氣的排氣裝置；和

控制部，其基于由所述測量部測量出的溫度和根據配置有所述隔熱配管的室內的溫度及濕度求取的露點溫度，控制所述排氣裝置來控制所述氣密空間內的壓力，

所述流體的溫度低于配置有所述隔熱配管的室內的溫度。