[發明專利]掩模板、柔性顯示面板及其制作方法

有效

• 申請號: 201910092372.4
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN111505897B
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 胡謙;楊玉清;楊凡
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F1/26
• 分類號: G03F1/26;H01L27/32
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 孫之剛;陳嵐

1.一種制作柔性顯示面板的方法，其中，所述柔性顯示面板包括顯示區和位于顯示區外側的柔性彎折區，所述方法包括：

在襯底上形成緩沖層；

在所述緩沖層背離所述襯底的一側上形成絕緣層；

使用第一掩模板在所述柔性彎折區中蝕刻掉所述絕緣層而形成第一溝槽；

使用第二掩模板在所述第一溝槽中蝕刻掉所述緩沖層而形成第二溝槽；以及

在所述絕緣層背離所述緩沖層的一側上形成源漏金屬層，其中所述源漏金屬層覆蓋所述第一溝槽和所述第二溝槽，

其中所述第一掩模板和所述第二掩模板均包括第一區、第二區，以及在第一方向上夾在所述第一區和第二區之間的第三區，所述第三區具有與待形成的溝槽相同的圖案，所述第一方向與所述第一溝槽和第二溝槽沿著所述柔性顯示面板的平面的延伸方向垂直，其中

所述第一區和第二區的透光性相同，并且與所述第三區的透光性相反，并且

所述第一區和/或所述第二區的面向所述第三區的邊緣具有多個凸起，每一個所述凸起在靠近所述第三區的一側具有頂角，并且所述頂角不大于90°，

其中在使用第一掩模板在所述柔性彎折區中蝕刻掉所述絕緣層而形成第一溝槽、以及使用第二掩模板在所述第一溝槽中蝕刻掉所述緩沖層而形成第二溝槽的過程中，所述第一掩模板的凸起在第二掩模板上的正投影落入第二掩模板的凸起范圍內，第一掩膜板和第二掩膜板的第一區和第二區不透光，第一掩膜板和第二掩膜板的第三區透光，或者，所述第二掩模板的凸起在第一掩模板上的正投影應當落入第一掩模板的凸起范圍內，第一掩膜板和第二掩膜板的第一區和第二區透光，第一掩膜板和第二掩膜板的第三區不透光，

其中，所述柔性顯示面板還包括沿所述第一方向延伸的多條數據線，并且每一個所述凸起在第二方向上的最大尺寸不大于相鄰的數據線之間的距離，所述第二方向垂直于所述第一方向。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述凸起的形狀選自三角形和四邊形。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，所述凸起在所述第一方向上的尺寸不大于10微米。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，所述第一區和所述第二區的面向所述第三區的邊緣具有多個所述凸起，并且所述第一區的凸起與所述第二區的相應凸起在所述第一方向上正對。

5.根據權利要求1所述的方法，其中所述第一掩模板的第三區在其第一方向上的尺寸大于所述第二掩模板的第三區在其第一方向上的尺寸。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，在所述第一方向上，所述第一溝槽的最小尺寸大于所述第二溝槽的最大尺寸。

7.一種柔性顯示面板，使用權利要求1-6中任一項所述的方法制作，其中，所述柔性顯示面板包括顯示區和位于顯示區外側的柔性彎折區，并且，所述柔性顯示面板包括：

襯底；

設置在所述襯底上的緩沖層；

設置在所述緩沖層背離所述襯底的一側上的絕緣層；

在所述柔性彎折區中設置在所述絕緣層中的第一溝槽；

在所述第一溝槽中設置在所述緩沖層中的第二溝槽。

8.根據權利要求7所述的柔性顯示面板，其中，在所述第一方向上，所述第一溝槽的最小尺寸大于所述第二溝槽的最大尺寸。