[發(fā)明專利]金屬濺鍍機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910089111.7
• 申請(qǐng)日: 2019-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109594048B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈能輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/14
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明提供一種金屬濺鍍機(jī)，包括：濺鍍機(jī)臺(tái)，用于在基板上濺鍍金屬；托盤(pán)，放置在所述濺鍍機(jī)臺(tái)上，用于承載所述基板；托盤(pán)存儲(chǔ)倉(cāng)，用于存儲(chǔ)托盤(pán)；運(yùn)輸臺(tái)車，用于運(yùn)輸托盤(pán)；封閉門，用于封閉所述濺鍍機(jī)臺(tái)；控制裝置，用于控制所述封閉門的開(kāi)關(guān)，以及所述運(yùn)輸臺(tái)車工作；通過(guò)設(shè)置控制裝置實(shí)現(xiàn)托盤(pán)以及封閉門的全自動(dòng)化更換，減少了手動(dòng)更換托盤(pán)和開(kāi)關(guān)封閉門所需時(shí)間，提升設(shè)備綜合效率，從而提升生產(chǎn)產(chǎn)能，同時(shí)也減少人員手動(dòng)操作帶來(lái)的安全隱患，減少人員進(jìn)入帶來(lái)的雜質(zhì)，提升產(chǎn)品良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬濺鍍機(jī)。

背景技術(shù)

在金屬濺鍍機(jī)中，基板放置在托盤(pán)上進(jìn)行金屬濺鍍，不同規(guī)格的基板對(duì)應(yīng)不同標(biāo)準(zhǔn)的托盤(pán)，因此在金屬濺鍍機(jī)工作過(guò)程中，往往需要進(jìn)行托盤(pán)的更換。現(xiàn)有托盤(pán)更換方式為人工，效率低。

即現(xiàn)有金屬濺鍍機(jī)存在缺陷，需要改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種金屬濺鍍機(jī)，以緩解現(xiàn)有金屬濺鍍機(jī)無(wú)法實(shí)現(xiàn)托盤(pán)存儲(chǔ)倉(cāng)與濺鍍機(jī)臺(tái)之間托盤(pán)的全自動(dòng)化傳送及交換的技術(shù)問(wèn)題。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供一種金屬濺鍍機(jī)，包括：

濺鍍機(jī)臺(tái)，用于在基板上濺鍍金屬；

托盤(pán)，放置在所述濺鍍機(jī)臺(tái)上，用于承載所述基板；

托盤(pán)存儲(chǔ)倉(cāng)，用于存儲(chǔ)托盤(pán)；

運(yùn)輸臺(tái)車，用于運(yùn)輸托盤(pán)；

封閉門，用于封閉所述濺鍍機(jī)臺(tái)；

控制裝置，用于控制所述封閉門的開(kāi)關(guān)，以及所述運(yùn)輸臺(tái)車工作。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制裝置包括控制器，所述控制器用于在接收到更換指令時(shí)，控制所述運(yùn)輸臺(tái)車更換托盤(pán)。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制器還用于根據(jù)所述更換指令攜帶的托盤(pán)標(biāo)識(shí)，控制所述運(yùn)輸臺(tái)車更換托盤(pán)。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制裝置包括控制器，所述控制器用于根據(jù)待濺鍍基板參數(shù)，控制所述運(yùn)輸臺(tái)車更換托盤(pán)。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制器用于根據(jù)待濺鍍基板參數(shù)，控制所述托盤(pán)存儲(chǔ)倉(cāng)將對(duì)應(yīng)托盤(pán)提供給所述運(yùn)輸臺(tái)車。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制器用于根據(jù)待濺鍍基板參數(shù)，控制所述運(yùn)輸臺(tái)車選擇所述托盤(pán)存儲(chǔ)倉(cāng)中對(duì)應(yīng)托盤(pán)。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制裝置包括傳感器和控制器，所述控制器用于根據(jù)所述傳感器檢測(cè)的所述運(yùn)輸臺(tái)車與所述封閉門之間的距離變化，控制所述封閉門的開(kāi)關(guān)。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制裝置包括傳感器和控制器，所述傳感器用于檢測(cè)所述運(yùn)輸臺(tái)車與所述封閉門之間的距離，所述控制器用于根據(jù)所述距離是否小于預(yù)設(shè)值，控制所述封閉門的開(kāi)關(guān)。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述傳感器設(shè)置在所述運(yùn)輸臺(tái)車上。

在本發(fā)明的金屬濺鍍機(jī)中，所述控制裝置與所述運(yùn)輸臺(tái)車無(wú)線連接。

本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明提供一種金屬濺鍍機(jī)，包括：濺鍍機(jī)臺(tái)，用于在基板上濺鍍金屬；托盤(pán)，放置在所述濺鍍機(jī)臺(tái)上，用于承載所述基板；托盤(pán)存儲(chǔ)倉(cāng)，用于存儲(chǔ)托盤(pán)；運(yùn)輸臺(tái)車，用于運(yùn)輸托盤(pán)；封閉門，用于封閉所述濺鍍機(jī)臺(tái)；控制裝置，用于控制所述封閉門的開(kāi)關(guān)，以及所述運(yùn)輸臺(tái)車工作；通過(guò)設(shè)置控制裝置實(shí)現(xiàn)托盤(pán)以及封閉門的全自動(dòng)化更換，減少了手動(dòng)更換托盤(pán)和開(kāi)關(guān)封閉門所需時(shí)間，提升設(shè)備綜合效率，從而提升生產(chǎn)產(chǎn)能，同時(shí)也減少人員手動(dòng)操作帶來(lái)的安全隱患，減少人員進(jìn)入帶來(lái)的雜質(zhì)，提升產(chǎn)品良率。

附圖說(shuō)明