[發明專利]金屬濺鍍機

有效

• 申請號: 201910089111.7
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN109594048B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 沈能輝
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/14
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種金屬濺鍍機，其特征在于，包括：

濺鍍機臺，用于在基板上濺鍍金屬；

托盤，放置在所述濺鍍機臺上，用于承載所述基板；

托盤存儲倉，用于存儲托盤；

運輸臺車，用于運輸托盤；

封閉門，用于封閉所述濺鍍機臺；

控制裝置，用于控制所述封閉門的開關，以及所述運輸臺車工作；所述控制裝置包括控制器，所述控制器用于根據更換指令攜帶的待濺鍍基板參數，確定承載所述待濺鍍基板的托盤參數，進而確定所需更換的托盤編號，控制所述托盤存儲倉將與所需更換的托盤編號對應的托盤提供給所述運輸臺車，且控制運輸臺車將所述與所需更換的托盤編號對應的托盤傳送給所述濺鍍機臺，最后再控制所述運輸臺車復位，完成更換托盤任務。

2.如權利要求1所述的金屬濺鍍機，其特征在于，所述控制裝置包括傳感器和控制器，所述控制器用于根據所述傳感器檢測的所述運輸臺車與所述封閉門之間的距離變化，控制所述封閉門的開關。

3.如權利要求1所述的金屬濺鍍機，其特征在于，所述控制裝置包括傳感器和控制器，所述傳感器用于檢測所述運輸臺車與所述封閉門之間的距離，所述控制器用于根據所述距離是否小于預設值，控制所述封閉門的開關。

4.如權利要求2或3任一項所述的金屬濺鍍機，其特征在于，所述傳感器設置在所述運輸臺車上。

5.如權利要求1至3任一項所述的金屬濺鍍機，其特征在于，所述控制裝置與所述運輸臺車無線連接。