[發明專利]基板處理裝置及其控制裝置、控制方法以及存儲介質

有效

• 申請號: 201910082536.5
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN110093655B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: 三谷隆
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D5/00;C25D5/48;C25D21/12;C25D19/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;李文嶼

1.一種基板處理裝置，具備：

對基板進行不同處理種類的處理的多個處理槽；

輸送所述基板的輸送裝置；和

對由所述輸送裝置進行的所述基板的輸送和所述多個處理槽內的基板處理進行控制的控制裝置，

所述控制裝置構成為，能夠按每個處理種類將從各處理槽拉出所述基板的拉出所需時間固定，以成為最大生產量的方式創建在多個處理種類的所述多個處理槽之間輸送所述基板并進行處理的輸送調度，并且能夠以如下方式對所述輸送調度進行修正：基于向一處理種類的處理槽收納所述基板后所述輸送裝置的等待時間和這一處理種類的處理槽內的基板處理后該處理槽的等待時間，將從所述基板的輸送順序中的前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間延長，

所述控制裝置以如下方式延長從所述前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間，即，將向一處理種類的處理槽收納所述基板后所述輸送裝置的等待時間和這一處理種類的處理槽內的基板處理后該處理槽的等待時間中的短的一方的等待時間的一部分或全部，加到從所述基板的輸送順序中的前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間上。

2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其中，

所述控制裝置基于修正后的輸送調度，對由所述輸送裝置進行的所述基板的輸送和所述多個處理槽內的基板處理進行控制。

3.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其中，

所述控制裝置將從所述短的一方的等待時間中減去規定時間后的時間，加到從所述前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間上。

4.根據權利要求3所述的基板處理裝置，其中，

所述控制裝置針對多個基板創建所述輸送調度，并且按每個處理種類算出針對多個基板的、向一處理種類的處理槽收納所述基板后所述輸送裝置的等待時間和這一處理種類的處理槽內的基板處理后該處理槽的等待時間中的最小值，將該最小值或者從該最小值中減去規定時間后的時間加到從各處理種類的前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間上。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的基板處理裝置，其中，

所述控制裝置在由于從所述前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間的延長而導致所述基板處理裝置的生產量下降的情況下，進行將所述拉出所需時間的延長量降低的修正，或者使用所述修正前的輸送調度。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的基板處理裝置，其中，

所述控制裝置通過將基于所述輸送裝置的所述基板的拉出速度降低、和/或、設定或延長從所述前一處理種類的處理槽拉出所述基板后所述前一處理槽內的待機時間，來執行所述基板的拉出所需時間的延長。

7.根據權利要求1至4中任一項所述的基板處理裝置，其中，

所述控制裝置，判別所述拉出所需時間的延長是否被允許，在被允許了的情況下，進行將所述拉出所需時間延長的修正。

8.根據權利要求1至4中任一項所述的基板處理裝置，其中，

所述基板以保持于基板保持部件的狀態被輸送。

9.一種控制裝置，是基板處理裝置的控制裝置，具備：

輸送調度創建部，其創建在不同處理種類的多個處理槽之間輸送所述基板并進行處理的輸送調度；和

修正部，其進行如下的修正：通過將向一處理種類的處理槽收納所述基板后輸送裝置的等待時間和這一處理種類的處理槽內的基板處理后該處理槽的等待時間中的短的一方的等待時間的一部分或全部，加到從所述基板的輸送順序中的前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間上，由此將從所述前一處理種類的處理槽拉出所述基板的拉出所需時間延長。