[發明專利]基板處理裝置及其控制裝置、控制方法以及存儲介質

有效

• 申請號: 201910082536.5
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN110093655B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: 三谷隆
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D5/00;C25D5/48;C25D21/12;C25D19/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;李文嶼

一種能夠將來自處理槽的處理液帶出降低的基板處理裝置，具備：對基板進行不同處理種類的處理的多個處理槽、輸送基板的輸送裝置以及對由輸送裝置進行的基板的輸送和多個處理槽內的基板處理進行控制的控制裝置，控制裝置構成為，能夠按每個處理種類將從各處理槽拉出基板的拉出所需時間固定，以成為最大生產量的方式，創建在多個處理種類的多個處理槽之間輸送基板并進行處理的輸送調度，并且以如下方式對輸送調度進行修正：基于向一處理種類的處理槽收納基板后輸送裝置的等待時間和這一處理種類的處理槽內的基板處理后該處理槽的等待時間，將從基板的輸送順序中的前一處理種類的處理槽拉出基板的拉出所需時間延長。

技術領域

本發明涉及基板處理裝置、基板處理裝置的控制裝置、基板處理裝置的控制方法、保存有用于使計算機執行基板處理裝置的控制方法的程序的存儲介質。

背景技術

基板處理裝置中存在各種構成的基板處理裝置。基板處理裝置例如具有收納處理液(藥液或純水)的多個處理槽，由槽間移動用的輸送機構將作為處理對象的基板或者保持著基板的基板保持機構在多個處理槽之間進行輸送，對基板實施多個處理。在各處理槽中，由槽間移動用的輸送機構或者別的升降輸送機構將處理對象下降到處理槽而使其浸漬于處理液，由槽間移動用的輸送機構或升降輸送機構拉出規定處理后的處理對象，由槽間移動用的輸送機構向下一處理槽進行輸送。此時的下降動作和上升動作以預先設定的速度執行。

在基板處理裝置接收到針對新搬入的基板的基板處理執行指示時，被稱作基板輸送調度器的調度安排(scheduling)軟件基于給定的多個基板的處理條件(鍍敷時間、電流值、處理后的輸送等待時間的制約等)、輸送機構的動作時間的設定信息等，以作為裝置整體的每單位時間的處理張數(生產量)為最大的方式進行調度安排計算(例如專利文獻1)。于是，基于所創建出的包括動作的種類、各動作的開始時間等信息的時間表數據，各輸送控制設備進行基板或者保持著基板的基板保持機構的輸送動作。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1:日本特開2011-146448號

發明內容

發明要解決的課題

一般而言，在進行相對于處理液槽的浸漬、拉出的方式中，處理液會附著于基板和/或基板支承件(以下一并簡稱為基板支承件)并被帶出，因此需要補充與該量相當的新處理液。處理液價格高，因此要求盡可能減少從處理槽帶出的處理液的帶出量。

作為降低帶出量的方法，通過使拉出基板支承件的速度變慢、或者在拉出后直接使其在原位停止一定時間從而使附著的處理液向原來的處理槽滴落，由此能夠減少處理液的帶出量，但是若拉出動作整體(從開始拉出到開始向下一處理槽移動為止)所需的拉出所需時間增加則會成為裝置整體的生產量下降的原因。因此進行如下運用：預先通過實驗、模擬等掌握了成為在不對生產量構成影響的范圍內所容許的范圍內的帶出量那樣的拉出速度，結果，在實際的生產時使用所掌握的固定的速度。根據基板的處理條件的不同，輸送動作會有余量，所以有能夠進一步削減處理液的帶出量的可能性，但是存在以當前的技術無法實現根據基板的處理條件的不同而進一步削減處理液的帶出量這一課題。

本發明的目的在于解決上述課題的至少一部分。

用于解決課題的技術方案