[發明專利]一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統

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• 申請號: 201910080917.X
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN109723968A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 陶剛義
• 申請（專利權）人: 內蒙古興洋科技有限公司
• 主分類號: F17C7/04
• 分類號: F17C7/04;F17C13/00;F17C13/04
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 李冉

本發明公開了一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，包括：低溫泵保護罐、低溫泵和氣化器；所述低溫泵保護罐內固定有所述低溫泵，且所述低溫保護罐內充裝有保護氣體；所述低溫泵保護罐設有進液管和出液管；所述低溫泵一端通過所述進液管與液態硅烷儲罐相連，另一端通過所述出液管與所述氣化器相連。在低溫保護罐內充入保護氣體，液態硅烷從硅烷儲罐內輸送到低溫泵處，通過低溫泵進行增壓，之后進入氣化器，在氣化器內通過熱媒將液態硅烷進行加熱氣化，氣化后的硅烷達到設定的壓力值后，輸送到硅烷充裝站使用。

技術領域

本發明涉及硅烷氣化和增壓技術領域，更具體的說是涉及一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統。

背景技術

硅烷，又名甲硅烷、四氫化硅，分子式SiH₄，SiH₄是強還原性物質，與氧化性物質、堿或重金屬鹽類溶液接觸，會顯示出很強的活潑性，屬易燃、易爆的危險性氣體。硅烷是生產單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅和氧化硅等一系列硅化合物的基本原料，廣泛應用電子及半導體工業中。

目前，傳統的硅烷氣化、增壓一般采用壓縮機進行增壓，該種工藝設備投資大、能耗高、容易發生泄漏，對環境造成污染。

因此，如何提供一種投資小、能耗低且不易泄漏的硅烷增壓和氣化系統是本領域技術人員亟需解決的問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，結構簡單、能耗低、投資小，且不易泄漏。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，包括：低溫泵保護罐、低溫泵和氣化器；

所述低溫泵保護罐內固定有所述低溫泵，且所述低溫保護罐內充裝有保護氣體；所述低溫泵保護罐設有進液管和出液管；

所述低溫泵一端通過所述進液管與液態硅烷儲罐相連，另一端通過所述出液管與所述氣化器相連。

優選的，所述低溫泵包括：泵體；

所述泵體一端設置有進液口，另一端安裝有活塞；所述活塞通過活塞桿與電機相連，并通過密封塞密封；所述泵體上還設有出液口；

所述進液口通過所述進液管與所述液態硅烷儲罐相連，所述出液口通過所述出液管與所述氣化器相連。

優選的，所述氣化器包括：盤管式氣化器或水浴式氣化器。

優選的，所述氣化器包括：殼體；所述殼體上設置有熱媒進口、熱媒出口、液態硅烷進口和氣態硅烷出口；所述殼體內部還安裝有盤管；

所述盤管的一端與所述液態硅烷進口相連，另一端與所述氣態硅烷出口相連；

所述液態硅烷進口通過所述出液管與所述出液口相連。

優選的，所述保護氣體包括：氫氣、硅烷、氮氣、氦氣、氬氣中的一種或幾種，其壓力為0.01～20MPa。

優選的，所述低溫泵通過基座固定在所述低溫泵保護罐中。

優選的，所述低溫泵保護罐上還設置有保護氣進口，用于充入所述保護氣體。

優選的，所述低溫泵保護罐上還安裝有安全閥。

優選的，所述泵體上還設置有回氣口。

經由上述的技術方案可知，與現有技術相比，本發明公開提供了一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，在低溫保護罐內充入保護氣體，液態硅烷從硅烷儲罐內輸送到低溫泵處，通過低溫泵進行增壓，之后進入氣化器，在氣化器內通過熱媒將液態硅烷進行加熱氣化，氣化后的硅烷達到設定的壓力值后，輸送到硅烷充裝站供使用。