[發明專利]一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統在審
| 申請號： | 201910080917.X | 申請日： | 2019-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN109723968A | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 陶剛義 | 申請（專利權）人： | 內蒙古興洋科技有限公司 |
| 主分類號： | F17C7/04 | 分類號： | F17C7/04;F17C13/00;F17C13/04 |
| 代理公司： | 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 017000 內蒙古自治區鄂*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 低溫泵 硅烷 氣化器 液態硅烷 增壓 充裝 保護氣體 低溫保護 氣化系統 保護罐 出液管 進液管 儲罐 鋼瓶 加熱氣化 氣化 熱媒 | ||
1.一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，包括：低溫泵保護罐、低溫泵和氣化器；
所述低溫泵保護罐內固定有所述低溫泵，且所述低溫保護罐內充裝有保護氣體；所述低溫泵保護罐設有進液管和出液管；
所述低溫泵一端通過所述進液管與液態硅烷儲罐相連，另一端通過所述出液管與所述氣化器相連。
2.根據權利要求1所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述低溫泵包括：泵體；
所述泵體一端設置有進液口，另一端安裝有活塞；所述活塞通過活塞桿與電機相連，并通過密封塞密封；所述泵體上還設有出液口；
所述進液口通過所述進液管與所述液態硅烷儲罐相連，所述出液口通過所述出液管與所述氣化器相連。
3.根據權利要求1所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述氣化器包括：盤管式氣化器或水浴式氣化器。
4.根據權利要求2所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述氣化器包括：殼體；所述殼體上設置有熱媒進口、熱媒出口、液態硅烷進口和氣態硅烷出口；所述殼體內部還安裝有盤管；
所述盤管的一端與所述液態硅烷進口相連，另一端與所述氣態硅烷出口相連；
所述液態硅烷進口通過所述出液管與所述出液口相連。
5.根據權利要求2所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述保護氣體包括：氫氣、硅烷、氮氣、氦氣、氬氣中的一種或幾種，其壓力為0.01～20MPa。
6.根據權利要求1或4所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述低溫泵通過基座固定在所述低溫泵保護罐中。
7.根據權利要求6所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述低溫泵保護罐上還設置有保護氣進口，用于充入所述保護氣體。
8.根據權利要求7所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述低溫泵保護罐上還安裝有安全閥。
9.根據權利要求2所述的一種硅烷鋼瓶充裝的液相增壓和氣化系統，其特征在于，所述泵體上還設置有回氣口。
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