[發明專利]柔性配管和溫度控制系統在審

申請號：	201910080273.4	申請日：	2019-01-28
公開（公告）號：	CN110094582A	公開（公告）日：	2019-08-06
發明（設計）人：	大槻興平;三森章祥;鐮田紘司	申請（專利權）人：	東京毅力科創株式會社
主分類號：	F16L11/15	分類號：	F16L11/15;G05D23/185
代理公司：	北京尚誠知識產權代理有限公司 11322	代理人：	龍淳
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	內管溫度控制系統導電性波紋管流體配管材料形成流體流動編織體金屬制耗能涂膜光滑流動配置
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【說明書】：

本發明能夠降低溫度控制系統的耗能。柔性配管(13)包括金屬制的波紋管(130)和內管(131)。內管(131)配置于波紋管(130)的內側，流體在其上流動的內側的表面是光滑的。流體在其上流動的內管(131)的內側的面可以比編織體的表面光滑。另外，內管(131)例如可以由導電性的材料形成。另外，供流體流動的內管(131)的內側可以由導電性的涂膜涂層。

技術領域

本發明的各種側面和實施方式涉及柔性配管和溫度控制系統。

背景技術

已知一種系統，其通過使溫度被控制的流體從進行規定的處理的處理裝置的外部的溫度控制單元向該處理裝置的內部循環，來控制處理裝置的內部的溫度。關于處理裝置和溫度控制單元，為了有效地配置在無塵室(clean room)等受限的設置場所，優選配置的自由度較高的方式。因此，用于使流體在該2個裝置間循環的配管的一部分，使用比較容易曲伸的柔性配管。柔性配管多實用金屬制的波紋管。

然而，在波紋管的內側，在流體的流動方向存在凹凸，因此存在由于流體在波紋管內流動而在波紋管發生微小的振動的情況。因此，在用于需要精密的處理或測定的裝置的情況下，存在由于從波紋管發生的振動，裝置進行的處理或測定的精度變低的情況。

為了回避該情況，已知一種在波紋管的內側配置管狀的編織體，以流體在編織體內流動的方式構成的具有振動抑制結構的撓性管(例如，參照下述的專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013－124748號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

然而，當配管與在其中流動的流體之間的摩擦變大時，流體的壓力損失變大。因此，為了使處理裝置內部中由充足流量的流體循環，溫度控制單元的泵需要以考慮了壓力損失的排出壓力使流體流動。因此，溫度控制單元的耗能變大。而且，在處理裝置與溫度控制單元設置于隔開間隔的地方，或者與設置有處理裝置的層(floor)不同的層設置有溫度控制單元的情況下，耗能進一步變大。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的一側面為柔性配管，其包括金屬制的波紋管和撓性管。撓性管配置于波紋管的內側，流體在其上流動的內側的表面是光滑的。

發明效果

根據本發明的各種側面和實施方式，能夠減小溫度控制單元的耗能。

附圖說明

圖1是表示處理系統的概要的一個例子的圖。

圖2是表示實施例1的柔性配管的一個例子的截面圖。

圖3是表示編織體的表面的一個例子的圖。

圖4是表示實施例2的柔性配管的一個例子的放大截面圖。

圖5是表示實施例3的柔性配管的一個例子的放大截面圖。

圖6是表示實施例4的柔性配管的一個例子的放大截面圖。

圖7是表示內管的外周面的涂層的范圍的一個例子的圖。