[發明專利]柔性配管和溫度控制系統

在審

• 申請號: 201910080273.4
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN110094582A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 大槻興平;三森章祥;鐮田紘司
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: F16L11/15
• 分類號: F16L11/15;G05D23/185
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種柔性配管，其特征在于，包括：

金屬制的波紋管；和

撓性管，其配置于所述波紋管的內側，流體在其上流動的內側的表面是光滑的。

2.如權利要求1所述的柔性配管，其特征在于：

流體在其上流動的所述撓性管的內側的面比編織體的表面光滑。

3.如權利要求1或2所述的柔性配管，其特征在于：

所述撓性管的內側的表面粗糙度Ra在0.045mm以下。

4.如權利要求1至3中任一項所述的柔性配管，其特征在于：

所述波紋管的內徑d₀、所述波紋管的管摩擦系數λ₀、所述撓性管的內徑d_i、所述撓性管的管摩擦系數λi滿足以下的關系：

(λ₀/λ_i)＞(d₀/d_i)⁵。

5.如權利要求1至4中任一項所述的柔性配管，其特征在于：

所述撓性管由四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物PFA或者聚四氟乙烯PTFE形成。

6.如權利要求1至4中任一項所述的柔性配管，其特征在于：

在所述撓性管的內側的至少一部分由具有導電性的材料形成有涂層，

所述撓性管的內側涂層與所述波紋管導通。

7.如權利要求6所述的柔性配管，其特征在于：

在所述撓性管的外側的至少一部分由具有導電性的材料形成有涂層，

所述撓性管的外側的涂層與所述撓性管的內側的涂層連接，

所述撓性管的外周的涂層的至少一部分與所述波紋管導通。

8.如權利要求6或7所述的柔性配管，其特征在于：

所述具有導電性的材料是添加有碳或者金屬的粉末的涂膜。

9.如權利要求1至4中任一項所述的柔性配管，其特征在于：

所述撓性管由具有導電性的材料形成，

所述撓性管的外周的至少一部分與所述波紋管導通。

10.如權利要求9所述的柔性配管，其特征在于：

所述撓性管由含有添加有碳或者金屬的粉末的四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物PFA或者聚四氟乙烯PTFE的材料形成。

11.如權利要求1至10中任一項所述的柔性配管，其特征在于：

所述撓性管的外徑比所述波紋管的內徑小，

所述撓性管的長度方向的長度比所述波紋管的長度方向的長度短。

12.一種溫度控制系統，其特征在于，包括：

熱交換部件，其設置于基片處理裝置內，與所述基片處理裝置內的溫度控制對象物進行熱交換；

對所述熱交換部件供給進行了溫度控制的流體的供給裝置；和

柔性配管，其構成所述熱交換部件與所述供給裝置之間的所述流體的流路的至少一部分；

所述柔性配管包括：

金屬制的波紋管；和

撓性管，其配置于所述波紋管的內側，所述流體在其上流動的內側的表面是光滑的。