[發明專利]一種基片表面檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201910074497.4
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN109668532B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 單海洋;劉海萍;董洪成;景敏娟
• 申請（專利權）人: 北京航天時代激光導航技術有限責任公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 范曉毅

1.一種基片表面檢測方法，所述基片相對的兩個表面上各設有一個環形槽，每個槽的中心均為一個柱體，兩個柱體的中心線重合，所述基片由石英材料制成，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一、將所述基片上其中一個表面的環形槽完全用水填充；

步驟二、在暗場環境下，利用激光照射所述基片上另一個表面的柱體的頂面；所述激光的波長為450nm～700nm；

步驟三、利用顯微鏡觀察步驟二中所述頂面反射的激光形成的光斑；

利用基片檢測工裝實現基片表面檢測方法，所述基片檢測工裝上設有開口和階梯狀腔體，所述基片安放在所述開口處，向階梯狀腔內注入水，使步驟一中所述的環形槽完全用水填充；

步驟一中所述的水為去離子水；

在所述步驟三之后，將步驟三所述光斑與標準基片的光斑進行對比，判斷所述頂面是否滿足粗糙度要求。

2.根據權利要求1所述的一種基片表面檢測方法，其特征在于：所述環形槽為圓環形槽，所述柱體為圓柱體。

3.根據權利要求1所述的一種基片表面檢測方法，其特征在于：所述標準基片的

4.根據權利要求1所述的一種基片表面檢測方法，其特征在于：所述標準基片的光斑采用白光輪廓儀或者原子力顯微鏡測試獲得。

5.一種基片表面檢測裝置，所述基片相對的兩個表面上各設有一個環形槽，每個槽的中心均為一個柱體，兩個柱體的中心線重合，所述基片由石英材料制成，其特征在于：包括激光器、顯微鏡、基片檢測工裝、注水裝置；

所述基片檢測工裝上設有開口和階梯狀腔體，所述基片安放在所述開口處，使基片待檢測表面暴露在所述階梯狀腔體外部；所述注水裝置用于向所述基片檢測工裝的腔體內注水，使基片上處于所述階梯狀腔體內部的環形槽完全被水填充；所述激光器用于發射激光照射基片待檢測表面；所述顯微鏡用于觀察基片待檢測表面的反射激光形成的光斑；

所述激光的波長為450nm～700nm；

所述注水裝置內的水為去離子水。

6.根據權利要求5所述的一種基片表面檢測裝置，其特征在于：將所述光斑與標準基片的光斑進行對比，判斷所述基片待檢測表面是否滿足粗糙度要求。

7.根據權利要求5所述的一種基片表面檢測裝置，其特征在于：所述環形槽為圓環形槽，所述柱體為圓柱體。